Composite deposition of Co and Si clusters by rf/dc plasma-gas-codensation

Applied Physics Letters

Volumn 82, Issue 16, 2003, Pages 2688-2690

  Katoh, R ^a   Hihara, T ^a   Peng, D L ^a   Sumiyama, K ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; DIFFUSION; ELECTRON DIFFRACTION; GLOW DISCHARGES; PRECIPITATION (CHEMICAL); SILICON; SPUTTER DEPOSITION; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

GLOW DISCHARGE ROOMS;

COBALT;

EID: 0037883623     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1569037     Document Type: Article

References (18)

1. P. Melinon, V. Paillard, V. Dupuis, A. Perez, P. Jensen, A. Hoareau, J. P. Perez, J. Tuaillon, M. Broyer, J. L. Vialle, M. Pellarin, B. Baguenard, and J. Lerme, Int. J. Mod. Phys. B 9, 397 (1995).
2. S. Yamamuro, K. Sumiyama, and K. Suzuki, J. Appl. Phys. 85, 483 (1999).
3. S. Yamamuro, K. Sumiyama, T. Hihara, and K. Suzuki, J. Phys.: Condens. Matter 11, 3247 (1999).
4. S. Yamamuro, K. Sumiyama, T. J. Konno, and K. Suzuki, Mater. Trans., JIM 40, 1450 (1999).
5. D. L. Peng, T. J. Konno, K. Wakoh, T. Hihara, and K. Sumiyama, Appl. Phys. Lett. 78, 1535 (2001); D. L. Peng, K. Sumiyama, T. J. Konno, T. Hihara, and S. Yamamuro, Phys. Rev. B 60, 2093 (1999).
6. D. L. Peng, T. J. Konno, K. Wakoh, T. Hihara, and K. Sumiyama, Appl. Phys. Lett. 78, 1535 (2001); D. L. Peng, K. Sumiyama, T. J. Konno, T. Hihara, and S. Yamamuro, Phys. Rev. B 60, 2093 (1999).
7. D. L. Peng, K. Sumiyama, S. Yamamuro, T. Hihara, and T. J. Konno, Appl. Phys. Lett. 74, 76 (1999); D. L. Peng, K. Sumiyama, T. Hihara, S. Yamamuro, and T. J. Konno, Phys. Rev. B 61, 3103 (2000).
8. D. L. Peng, K. Sumiyama, S. Yamamuro, T. Hihara, and T. J. Konno, Appl. Phys. Lett. 74, 76 (1999); D. L. Peng, K. Sumiyama, T. Hihara, S. Yamamuro, and T. J. Konno, Phys. Rev. B 61, 3103 (2000).
9. P. Jensen, Rev. Mod. Phys. 71, 1695 (1999).
10. H. Mori, M. Komatsu, K. Takeda, and H. Fujita, Philos. Mag. Lett. 63, 173 (1991); H. Yasuda and H. Mori, Phys. Rev. Lett. 69, 3747 (1992).
11. H. Mori, M. Komatsu, K. Takeda, and H. Fujita, Philos. Mag. Lett. 63, 173 (1991); H. Yasuda and H. Mori, Phys. Rev. Lett. 69, 3747 (1992).
12. T. J. Konno, K. Shoji, K. Sumiyama, and K. Suzuki, J. Magn. Magn. Mater. 195, 9 (1999).
13. H. Haberland, M. Mall, M. Moseler, Y. Qiang, T. Reiners, and Y. Thurner, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2925 (1994).
14. T. J. Konno, S. Yamamuro, and K. Sumiyama, J. Appl. Phys, 90, 3079 (2001); T. J. Konno, S. Yamamuro, and K. Sumiyama, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 834 (2001).
15. T. J. Konno, S. Yamamuro, and K. Sumiyama, J. Appl. Phys, 90, 3079 (2001); T. J. Konno, S. Yamamuro, and K. Sumiyama, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 834 (2001).
16. T. B. Massalski, J. L. Murray, L. H. Bennett, H. Baker, and L. Kacprzak, Binary Alloy Phase Diagrams (American Society of Metals, Metals Park, Ohio), p. 801.
17. C. Calandra, O. Bisi, and G. Ottaviani, Surf. Sci. Rep. 4, 271 (1985).
18. T. Hihara and K. Sumiyama, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 1923 (1999).