Anatase thin films on glass from the chemical vapor deposition of titanium(IV) chloride and ethyl acetate

Chemistry of Materials

Volumn 15, Issue 1, 2003, Pages 46-50

  O'Neill, Shane A ^a   Clark, Robin J H ^a   Parkin, Ivan P ^a   Elliott, Nicholas ^b   Mills, Andrew ^b  

^a UNIVERSITY COLLEGE LONDON   (United Kingdom)

^b UNIVERSITY OF STRATHCLYDE   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACETIC ACID ETHYL ESTER; GLASS; TITANIUM CHLORIDE; TITANIUM DERIVATIVE; TITANIUM DIOXIDE; UNCLASSIFIED DRUG;

ARTICLE; FILM; PHOTOOXIDATION; SURFACE PROPERTY; X RAY DIFFRACTION; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

EID: 0037435561     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm020707f     Document Type: Article

References (21)

1. Hoffman, M. R.; Martin, S. T.; Choi, W.; Bahneman, D. Chem. Rev. 1995, 95, 69.
2. Keidel, E. Farben-Ztg. 1929, 34, 1242.
3. Clark, R. J. H. The Chemistry of Titanium and Vanadium; Elsevier: Amsterdam, 1968; Chapter 9.
4. Mills, A.; Le Hunte, S. J. Photochem. Photobiol. A 1997, 108, 1.
5. Smith, A. Int. Glass Rev. 2001, 1, 29.
6. Paz, Y.; Luo, Z.; Rabenberg, L.; Heller, A. J. Mater. Chem. 1995, 10, 2842.
7. Takahashi, Y.; Matsuoka, Y. J. Mater. Sci. 1988, 23, 2259.
8. Aarik, J.; Sammelsberg, V.; Uustare, T.; Ritala, M.; Leskela, M. Thin Solid Films 2000, 370, 163. Lee, Y. H.; Chan, K. K.; Brady, M. J. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 596. Chen, Q.; Qian, Y.; Chen, Z.; Wu, W.; Zhou G.; Zhang, Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1608. Kim, E. K.; Son, M. H.; Min, S. K.; Hon, Y. K.; Yom, S. S. J. Cryst. Growth 1997, 170, 803.
9. Aarik, J.; Sammelsberg, V.; Uustare, T.; Ritala, M.; Leskela, M. Thin Solid Films 2000, 370, 163. Lee, Y. H.; Chan, K. K.; Brady, M. J. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 596. Chen, Q.; Qian, Y.; Chen, Z.; Wu, W.; Zhou G.; Zhang, Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1608. Kim, E. K.; Son, M. H.; Min, S. K.; Hon, Y. K.; Yom, S. S. J. Cryst. Growth 1997, 170, 803.
10. Aarik, J.; Sammelsberg, V.; Uustare, T.; Ritala, M.; Leskela, M. Thin Solid Films 2000, 370, 163. Lee, Y. H.; Chan, K. K.; Brady, M. J. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 596. Chen, Q.; Qian, Y.; Chen, Z.; Wu, W.; Zhou G.; Zhang, Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1608. Kim, E. K.; Son, M. H.; Min, S. K.; Hon, Y. K.; Yom, S. S. J. Cryst. Growth 1997, 170, 803.
11. Aarik, J.; Sammelsberg, V.; Uustare, T.; Ritala, M.; Leskela, M. Thin Solid Films 2000, 370, 163. Lee, Y. H.; Chan, K. K.; Brady, M. J. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 596. Chen, Q.; Qian, Y.; Chen, Z.; Wu, W.; Zhou G.; Zhang, Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1608. Kim, E. K.; Son, M. H.; Min, S. K.; Hon, Y. K.; Yom, S. S. J. Cryst. Growth 1997, 170, 803.
12. Kukli, K.; Ritala, M.; Schuisky, M.; Sajavaara, T.; Keinonen, J.; Uustare, T.; Harsta, A. Chem. Vap. Deposition 2000, 6, 303. Fernandez, A.; Lassaletta, G.; Jimenez, V. M.; Justo, A.; Gonzalez-Elipe, A. R.; Herman, J. M.; Tahiri, H.; Ait-Ichou, Y. Appl. Catal., B 1995, 7, 49.
13. Kukli, K.; Ritala, M.; Schuisky, M.; Sajavaara, T.; Keinonen, J.; Uustare, T.; Harsta, A. Chem. Vap. Deposition 2000, 6, 303. Fernandez, A.; Lassaletta, G.; Jimenez, V. M.; Justo, A.; Gonzalez-Elipe, A. R.; Herman, J. M.; Tahiri, H.; Ait-Ichou, Y. Appl. Catal., B 1995, 7, 49.
14. Marco de Lucas, M. C.; Fabreguette, F.; Collin, S.; Bourgeois, S. Int. J. Inorg. Mater. 2000, 2, 255.
15. Price, L. S.; Parkin, I. P.; Hardy, A. M. E.; Clark, R. J. H.; Hibbert, T.; Molloy, K. C. Chem. Mater. 1999, 11, 1792.
16. Fernàndez, A.; Caballero, A.; Gonzàlez-Elipe, A. R. Surf. Int. Anal. 1992, 18, 392.
17. Burgio, L.; Clark, R. J. H. Spectrochim. Acta, Part A 2001, 57, 149. Ohasaka, T.; Izumi, F.; Fujiki, Y. J. Raman Spectrosc. 1978, 7, 321.
18. Burgio, L.; Clark, R. J. H. Spectrochim. Acta, Part A 2001, 57, 149. Ohasaka, T.; Izumi, F.; Fujiki, Y. J. Raman Spectrosc. 1978, 7, 321.
19. Nehishi, N.; Takeuchi, K. Thin Solid Films 2001, 392, 249.
20. JCPDS, International Centre for Diffraction Data, 1995 [21- 1272].
21. Wang, R.; Hashimoto, K.; Fujishima, A.; Chikuni, M.; Kojima, E.; Kitamura, A.; Shimohigoshi, M.; Watanabe, T. Nature 1997, 388, 431.