Growth of Ag films on PET deposited by magnetron sputtering

Vacuum

Volumn 68, Issue 1, 2002, Pages 65-73

  Charton, C ^a   Fahland, M ^a  

^a Fraunhofer Institute for Electron Beam and Plasma Technology   (Germany)

Author keywords

Ag; Film growth; Magnetron sputtering; Surface diffusion

Indexed keywords

ARGON; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; DIFFUSION; MAGNETRON SPUTTERING; POLYETHYLENE TEREPHTHALATES; PRESSURE EFFECTS; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SILVER; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS;

SURFACE DIFFUSION;

FILM GROWTH;

EID: 0037078256     PISSN: 0042207X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00289-0     Document Type: Article

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