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Volumn 92, Issue 5, 2002, Pages 2884-2889

Electron-beam enhancement of the metal vapor vacuum arc ion source

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CATHODE MATERIALS; ION CHARGE STATE; METAL VAPOR VACUUM ARCS;

EID: 0036732197     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1498956     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.