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Volumn 38, Issue 3, 2002, Pages 1-5

Study on performances of micro-friction and its control in MEMS

Author keywords

Micro electro mechanical system; Micro friction; Performance and control

Indexed keywords

FRICTION; PERFORMANCE; SURFACE TOPOGRAPHY;

EID: 0036520794     PISSN: 05776686     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3901/jme.2002.03.001     Document Type: Article
Times cited : (16)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.