Optimization of laser-induced forward transfer process of metal thin films

Applied Surface Science

Volumn 197, Issue 198, 2002, Pages 411-415

  Yamada, H ^a   Sano, T ^a   Nakayama, T ^a   Miyamoto, I ^a  

^a OSAKA UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

Ablation process in LIFT; Direct writing; Laser induced forward transfer (LIFT); Thin film patterning

Indexed keywords

FUSED SILICA; LASER ABLATION; OPTIMIZATION; SUBSTRATES; THIN FILMS;

THIN FILM PATTERNING;

METALLIC FILMS;

EID: 0036432869     PISSN: 01694332     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00351-3     Document Type: Article

References (21)

1. Bohandy J., Kim B.F., Adrian F.J. J. Appl. Phys. 60 1986 1538.
2. Schltze V., Wagner M. Appl. Phys. A 53 1991 241.
3. Schltze V., Wagner M. Appl. Surf. Sci. 52 1991 303.
4. Zergioti I., Mailis S., Vainos N.A., Papakonstantinou P., Kalpouzos C., Grigoropoulos C.P., Fotakis C. Appl. Phys. A 66 1998 579.
5. Zergioti I., Mailis S., Vainos N.A., Fotakis C., Chen S., Grigoropoulos C.P. Appl. Surf. Sci. 127-129 1998 601.
6. Mogyorósi P., Szörényi T., Bali K., Tóth Zs., Hevese I. Appl. Surf. Sci. 36 1989 157.
7. Kántor Z., Tóth Z., Szörényi T. Appl. Phys. A 54 1992 170.
8. Esrom H., Zhang J.Y., Kogelschatz U., Pedraza A.J. Appl. Surf. Sci. 86 1995 202.
9. Tóth Z., Szörényi T., Tóth A.L. Appl. Surf. Sci. 69 1993 317.
10. T. Sano, H. Yamada, T. Nakayama, I. Miyamoto, Appl. Surf. Sci., submitted for publication.
11. Szörényi T., Tóth Z. Appl. Phys. A 52 1991 273.
12. Fogarassy E. Proc. SPIE 1394 1990 169.
13. Kántor Z., Szörényi T. J. Appl. Phys. 78 1995 2775.
14. Kántor Z., Tóth Z., Szörényi T., Tóth A.L. Appl. Phys. Lett. 64 1994 3506.
15. Kántor Z., Tóth Z., Szörényi T. Appl. Surf. Sci. 86 1995 196.
16. Bullock A.B., Bolton P.R., Mayer F.J. J. Appl. Phys. 82 1997 1828.
17. Bullock A.B., Bolton P.R. J. Appl. Phys. 85 1999 460.
18. Nakata Y., Okada T. Appl. Phys. A 69 1999 S275.
19. Adrian F.J., Bohandy J., Kim B.F., Jette A.N., Thompson P. J. Vac. Sci. Technol. B 5 1987 1490.
20. Baseman R.J., Frogerg N.M. Appl. Phys. Lett. 55 1989 1841.
21. Baseman R.J., Froberg N.M., Andreshak J.C., Schlesinger Z. Appl. Phys. Lett. 56 1990 1412.