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Volumn 57, Issue 2, 2002, Pages 275-278

Bulk etching rate of LR115 detectors

Author keywords

Bulk etch rate; Form Talysurf; LR115 detector; Radon measurements

Indexed keywords

ETCHING; ISOTOPES; RADON; THICKNESS MEASUREMENT;

EID: 0036272909     PISSN: 09698043     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0969-8043(02)00109-4     Document Type: Article
Times cited : (20)

References (6)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.