Laser-based measurement to nanometer scale accuracy

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 4420, Issue , 2001, Pages 193-202

  Jager G ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

Measuring atomic force microscope; Miniature laser interferometer; Nano measuring machine; Optical fiber; Vibrometer; X y stage with plane mirror interferometer

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; LASER APPLICATIONS; MINIATURE INSTRUMENTS; MIRRORS; OPTICAL FIBER COUPLING;

MINIATURE LASER INTERFEROMETERS;

INTERFEROMETERS;

EID: 0035760180     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.439211     Document Type: Conference Paper

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