Growth kinetics of amorphous interlayers in Ti thin films on epitaxial Si-Ge layers on silicon and germanium

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 11 I, 2001, Pages 6110-6115

  Lai, J B ^a   Chen, L J ^a  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035356107     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1365439     Document Type: Article

References (23)

1. S. Herd, K. N. Tu, and K. Y. Ahn, Appl. Phys. Lett. 42, 597 (1983).
2. W. J. Meng, B. Fultz, E. Ma, and W. L. Johnson, Appl. Phys. Lett. 51, 661 (1987).
3. W. J. Meng, C. W. Nieh, E. Ma, B. Fultz, and W. L. Johnson, Mater. Sci. Eng., 97, 87 (1988).
4. R. B. Schwarz and W. L. Johnson, Phys. Rev. Lett. 51, 415 (1983).
5. W. L. Johnson, Prog. Mater. Sci. 30, 81 (1986).
6. J. Y. Cheng and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 69, 2161 (1991).
7. T. L. Lee and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 73, 5280 (1993).
8. J. H. Lin and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 77, 1428 (1995).
9. W. Lur and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 54, 1217 (1989).
10. L. J. Chen, Mater. Sci. Eng., R. 29, 115 (2000).
11. S. Luryi, A. Kastalsky, and J. C. Been, IEEE Trans. Electron Devices ED-31, 1135 (1984).
12. Y. F. Hsieh, L. J. Chen, E. D. Marshall, and S. S. Lau, Appl. Phys. Lett. 51, 1588 (1989).
13. J. C. Sturm, E. J. Prinz, and C. W. Magee. IEEE Electron Device Lett. 12, 661 (1991).
14. T. L. Lin, T. George, E. W. Jones, A. Ksendzov, and M. L. Huberman, Appl. Phys. Lett. 60, 380 (1992).
15. B. S. Meyerson, Proc. IEEE 80, 1592 (1992).
16. O. Thomas, S. Barmak, F. M. d'Heurle, and G. Scilla, Appl. Phys. Lett. 54, 228 (1989).
17. Q. Z. Hong, K. Barmak, and F. M. d'Heurle, Appl. Phys. Lett. 62, 3435 (1993).
18. D. B. Aldrich, Y. L. Chen, D. E. Sayers, R. J. Nemanich, S. P. Ashburm, and M. C. Ozturk, J. Mater. Res. 10, 2849 (1995).
19. W. Freiman, A. Eyal, Yu. L. Khait, and R. Beserman, Appl. Phys. Lett. 69, 3821 (1996).
20. J. B. Lai, C. S. Liu, L. J. Chen, and J. Y. Cheng, J. Appl. Phys. 78, 6539 (1995).
21. Z. Wang, Y. L. Chen, H. Ying, R. J. Nemanich, and D. E. Sayer, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 320, 394 (1994).
22. A. R. Miedema, P. F. de Chatel, and F. R. de Boer, J. Less-Common Met. 41, 283 (1975).
23. Y. L. Khait and R. Weil, J. Appl. Phys. 78, 6504 (1995).