Kinetics of processes in the Ti-Si1-xGex systems

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 25, 1996, Pages 3821-3823

  Freiman, W ^a,c   Eyal, A ^a   Khait, Yu L ^a   Beserman, R ^a   Dettmer, K ^b  

^a TECHNION ISRAEL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Israel)

^b TECHNICAL UNIVERSITY OF BRAUNSCHWEIG   (Germany)

^c WSI (Israel) Ltd   (Israel)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000793204     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117116     Document Type: Article

References (21)

1. D. B. Aldrich, Y. L. Chen, D. E. Sayers, R. J. Nemanich, S. P. Ashburn, and M. Öztürk, J. Appl. Phys. 77, 5107 (1995).
2. D. B. Aldrich, Holly L. Heck, Y. L. Chen, D. E. Sayers, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. 78, 4958 (1995).
3. D. B. Aldrich, Y. L. Chen, D. E. Sayers, R. J. Nemanich, S. P. Ashburn, and M. Öztürk, J. Mater. Res. 10, 2849 (1995).
4. W. Koschinski, K. Dettmer, and F. K. Kessler, J. Appl. Phys. 72, 471 (1992).
5. Z. Atzmom, A. E. Bair, E. J. Jaquez, J. W. Mayer, D. Chandrasekhar, D. J. Smith, R. L. Hervig, and McD. Robinson, Appl. Phys. Lett. 65, 2559 (1995).
6. N. Boutarek and R. Madar, Appl. Surf. Sci. 73, 209 (1993).
7. J. C. Tsang, P. M. Mooney, F. Dacol, and J. O. Chu, J. Appl. Phys. 75, 8098 (1994), and the references therein.
8. P. M. Mooney, F. H. Decol, J. C. Tsang, and J. O. Chu, Appl. Phys. Lett. 62, 2069 (1993).
9. P. Gas, G. Scilla, A. Michel, F. K. LeGoues, O. Thomas, and F. M. d'Heurle, J. Appl. Phys. 63, 5335 (1988).
10. R. G. Borg and G. J. Dones, An Introduction to Solid State Diffusion (Academic, New York, 1990).
11. S. Motakef, J. M. E. Harper, F. M. d'Heurle, T. A. Gallo, and N. Herbots, J. Appl. Phys. 70, 2660 (1991).
12. W. Freiman, R. Beserman, Yu. L. Khait, M. Shaanan, K. Dettmer, and F. R. Kessler, Phys. Rev. B 48, 2282 (1993).
13. Yu. L. Khait and R. Weil, J. Appl. Phys. 78, 6504 (1995).
14. Yu. L. Khait and R. Beserman, Phys. Rev. B 33, 2983 (1986).
15. Yu. L. Khait, R. Beserman, D. Shaw, and K. Dettmer, Phys. Rev. B 50, 14893 (1994).
16. Yu. L. Khait, Phys. Rep. 99, 237 (1983).
17. Yu. L. Khait, J. Salzman, and R. Beserman, Appl. Phys. Lett. 53, 2135 (1988); Appl. Phys. Lett. 55, 1170 (1989).
18. Yu. L. Khait, J. Salzman, and R. Beserman, Appl. Phys. Lett. 53, 2135 (1988); Appl. Phys. Lett. 55, 1170 (1989).
19. K. Dettmer, W. Freiman, M. Levy, Yu. L. Khait, and R. Beserman, Appl. Phys. Lett. 66, 2376 (1995).
20. Yu. L. Khait, R. Weil, R. Beserman, W. Beyer, and H. Wagner, Phys. Rev. B 42, 9000 (1990).
21. Yu. L. Khait, Semicond. Sci. Technol. B C-84 (1991).