A laser photodetachment technique for the measurement of H- in a high frequency traveling wave discharge

Review of Scientific Instruments

Volumn 72, Issue 3, 2001, Pages 1680-1687

  Dias, F M ^a   Tatarova, E ^a,b   Crespo, H ^a   Ferreira, C M ^a  

^a INSTITUTO SUPERIOR TÉCNICO   (Portugal)

^b UNIVERSITY OF SOFIA   (Bulgaria)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035275014     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1319861     Document Type: Article

References (33)

1. M. Bacal, Plasma Sources Sci. Technol. 2, 190 (1993).
2. A. G. Nikitin, F. El Balghiti, and M. Bacal, Plasma Sources Sci. Technol. 5, 37 (1996).
3. M. Bacal, G. W. Hamilton, A. M. Bruneteau, H. J. Doucet, and J. Taillet, Rev. Sci. Instrum. 50, 719 (1979).
4. T. Mosbach, N. M. Katsch, and H. F. Dobele, Plasma Sources Sci. Technol. 7, 15 (1999).
5. M. Nishimura, M. Sasao, and M. Bacal, J. Appl. Phys. 83, 2944 (1998).
6. P. J. Eenshuistra, M. Gochitashvilli, R. Becker, A. W. Kleyn, and H. J. Hopman, J. Appl. Phys. 67, 85 (1990).
7. J. L. Jauberteau, G. J. Meeusen, M. Haverlag, G. M. W. Kroesen, and F. J. de Hoog, Appl. Phys. Lett. 55, 2597 (1989).
8. J. L. Jauberteau, G. J. Meeusen, M. Haverlag, G. M. W. Kroesen, and F. J. de Hoog, J. Phys. D 24, 261 (1991).
9. H. Sugai, T. H. Ahn, I. Ghanashev, M. Goto, M. Nagatsu, K. Nakamura, K. Suzuki, and H. Toyoda, Plasma Phys. Controlled Fusion 39, 145 (1997).
10. F. El Balghiti-Sube, F. G. Baksht, and M. Bacal, Rev. Sci. Instrum. 67, 2221 (1996).
11. M. B. Hopkins, M. Bacal, and W. G. Graham, J. Appl. Phys. 70, 2009 (1991).
12. R. A. Gottscho and C. E. Gaebe, IEEE Trans. Plasma Sci. 14, 92 (1986).
13. H. Amemiya and T. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 29, 1712 (1990).
14. M. Bacal, A. M. Bruneteau, W. G. Graham, G. W. Hamilton, and M. Nachman, J. Appl. Phys. 52, 1247 (1981).
15. P. Devynck, J. Auay, M. Bacal, P. Berlemont, J. Bruneteau, R. Leroy, and R. A. Stern, Rev. Sci. Instrum. 60, 2873 (1989).
16. K. N. Leung, D. A. Bachman, and D. S. McDonald, Rev. Sci. Instrum. 64, 970 (1993).
17. L. Tomasini, A. Rousseau, G. Gousset, and P. Leprince, J. Phys. D 29, 1006 (1996).
18. F. M. Dias, E. Tatarova, A. Ricard, H. Crespo, and C. M. Ferreira, in Proceedings of XXIV ICPIG, July 11-16, Warsaw, Poland, 1999, Vol. 1, p. 155.
19. H. Amemiya, J. Phys. D 23, 999 (1990).
20. H. Amemiya and Y. Sakamoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 26, 1170 (1987).
21. E. Tatarova, F. M. Dias, C. M. Ferreira, and A. Ricard, J. Appl. Phys. 85, 49 (1999).
22. F. M. Dias, E. Tatarova, J. Henriques, and C. M. Ferreira, J. Appl. Phys. 85, 2528 (1999).
23. M. Moisan and Z. Zakrzewski, J. Phys. D 24, 1025 (1991).
24. B. Gordiets, M. Pinheiro, E. Tatarova, F. M. Dias, and C. M. Ferreira, Plasma Sources Sci. Technol. 9, 2951 (2000).
25. F. M. Dias and E. Tatarova, in Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics III (Saillon, 1999), p. 223.
26. S. Grosse, H. Schluter, and E. Tatarova, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 545 (1994).
27. T. Kimura and K. Ohe, Rev. Sci. Instrum. 64, 3274 (1993).
28. F. M. Dias, in Microwave Discharges; Fundamentals and Applications, edited by C. M. Ferreira and M. Moisan (Plenum, New York, 1993) p. 291.
29. D. C. Schram (private communication).
30. H. Amemiya, J. Phys. Soc. Jpn. 57, 887 (1988).
31. F. M. Dias, E. Tatarova, and C. M. Ferreira, J. Appl. Phys. 83, 4602 (1998).
32. F. M. Dias and E. Tatarova, J. Phys. IV 8, 257 (1998).
33. W. G. Graham, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 281 (1995).