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Volumn 21, Issue 1, 2001, Pages 6-9

Effect of ion implantation on the interface chemical states and tribological behavior of amorphous carbon film on SiO2 substrate

Author keywords

Amorphous carbon film; Ion beam mixing; Tribological behavior

Indexed keywords

ADHESION; AMORPHOUS FILMS; CARBON; SILICA; TRIBOLOGY;

EID: 0034883048     PISSN: 10040595     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.