Trapping-mediated chemisorption of disilane on Si(100)-2×1

Journal of Chemical Physics

Volumn 113, Issue 6, 2000, Pages 2470-2478

  Ferguson, B A ^a   Reeves, C T ^a   Safarik, D J ^a   Mullins, C B ^a  

^a The University of Texas at Austin   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BINDING ENERGY; CHEMISORPTION; CRYSTAL ORIENTATION; ELECTRON TRAPS; KINETIC ENERGY; MATHEMATICAL MODELS; MOLECULAR BEAMS; PROBABILITY; SILICON; THERMAL EFFECTS;

ADSORPTION PROBABILITY; ADSORPTION WELLS;

SILANES;

EID: 0034245791     PISSN: 00219606     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.482064     Document Type: Article

References (30)

1. B. S. Meyerson, Proc. IEEE 80, 1592 (1992).
2. S. M. Gates, Surf. Sci. 195, 307 (1988).
3. R. Imbihl, J. E. Demuth, S. M. Gates, and B. A. Scott, Phys. Rev. B 39, 5222 (1989).
4. Y. M. Wu and R. M. Nix, Surf. Sci. 306, 59 (1994).
5. L.-Q. Xia, M. E. Jones, N. Maity, and J. R. Engstrom, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2651 (1995).
6. J. R. Engstrom. D. A. Hansen, M. J. Furjanic, and L. Q. Xia, J. Chem. Phys. 99, 4051 (1993).
7. L.-Q. Xia and J. R. Engstrom, J. Chem. Phys. 101, 5329 (1994).
8. B. A. Ferguson, C. T. Reeves, and C. B. Mullins, Surf. Sci. Lett. 437, L748 (1999).
9. M. C. Wheeler, D. C. Seets, and C. B. Mullins, J. Chem. Phys. 105, 1572 (1996).
10. B. A. Ferguson, C. T. Reeves, and C. B. Mullins, J. Chem. Phys. 110, 11574 (1999).
11. C. T. Rettner, L. A. DeLouise, and D. J. Auerbach, J. Chem. Phys. 85, 1131 (1986).
12. D. A. King and M. G. Wells, Surf. Sci. 29, 454 (1972).
13. V. M. Bermudez, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2671 (1996).
14. D. A. King, CRC Crit. Rev. Solid State Mater. Sei. 7. 167 (1978).
15. C. T. Rettner, E. K. Schweizer, H. Stein, and D. J. Auerbach, Phys. Rev. Lett. 61, 986 (1988).
16. C. B. Mullins, C. T. Rettner, D. J. Auerbach, and W. H. Weinberg, Chem. Phys. Lett. 163, 111 (1989); G. O. Sitz, unpublished results.
17. C. T. Rettner, E. K. Schweizer, and C. B. Mullins, J. Chem. Phys. 90, 3800 (1989).
18. P. A. Redhead, Vacuum 12, 203 (1962).
19. B. A. Ferguson, C. T. Reeves, D. J. Safarik, and C. B. Mullins, Surf. Sci. (submitted).
20. B. D. Thomas, P. W. Lorraine, and W. Ho, J. Chem. Phys. 97, 2759 (1992).
21. L. A. DeLouise, Chem. Phys. Lett. 180, 149 (1991).
22. C. T. Reeves, B. A. Ferguson, C. B. Mullins, G. O. Sitz, B. A. Helmer, and D. B. Graves, J. Chem. Phys. 111, 7567 (1999).
23. J. C. Tully, Faraday Discuss. Chem. Soc. 80, 291 (1985).
24. Z. Jing and J. L. Whitten, Phys. Rev. B 46, 9544 (1992).
25. W. Widdra, S. I. Yi, R. Maboudian, G. A. D. Briggs, and W. H. Weinberg, Phys. Rev. Lett. 74, 2074 (1995).
26. S. M. Gates and S. K. Kulkarni, Appl. Phys. Lett. 60, 53 (1992).
27. T. R. Bramblett, Q. Lu, T. Karasawa, M.-A. Kasan, S. K.. Jo, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 76, 1884 (1994).
28. X. F. Hu, Z. Xu, D. Lim, M. C. Downer, P. S. Parkinson, B. Gong, G. Hess, and J. G. Ekerdt, Appl. Phys. Lett. 71, 1376 (1997).
29. S. M. Mokier, Crit. Rev. Surf. Chem. 4, 1 (1994).
30. M. J. Bronikowski, Y. Wang, M. T. McEllistrem, D. Chen, and R. J. Hamers, Surf. Sci. 298, 50 (1993).