Investigation of electron-beam-induced phase transitions in amorphous aluminum trifluoride thin films using transmission electron microscopy

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 17, Issue 2, 1999, Pages 403-410

  Chen, G S ^a  

^a FENG CHIA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0033448396     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.581600     Document Type: Article

References (20)

1. S. D. Berger, I. G. Salisbury, R. H. Miline, D. Imeson, and C. J. Humphreys, Philos. Mag. 55, 341 (1987).
2. S. D. Berger, J. M. Macaulay, and L. M. Brown, Philos. Mag. Lett. 56, 179 (1987).
3. A. Scherer, B. P. Van der Gaag, E. D. Beebe, and P. S. D. Lin, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 28 (1990).
4. P. S. Turner, T. J. Bullough, R. W. Devenish, D. M. Maher, and C. J. Humphreys, Philos. Mag. Lett. 61, 181 (1990).
5. A. Muray, M. Isaacson, and I. Adesida, Appl. Phys. Lett. 45, 589 (1984).
6. A. Muray, M. Scheinfein, and M. Isaacson, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 367 (1985).
7. J. C. Hollenbeck and R. C. Buchanan, J. Mater. Res. 5, 1058 (1990).
8. Y. Ito, A. L. Bleloch, S. J. R. Granleese, and L. M. Brown, Inst. Phys. Conf. Ser. 138, 507 (1993).
9. R. Zanetti, A. L. Bleloch, M. P. Grimshaw, and G. A. C. Jones, Philos. Mag. Lett. 65, 285 (1994).
10. C. J. Morgan and C. J. Humphreys, Inst. Phys. Conf. Ser. 147, 575 (1995).
11. V. I. Nikolaichik, Philos. Mag. A 68, 227 (1993).
12. P. M. Mankiewich, H. G. Craighead, T. R. Harrison, and A. H. Dayem, Appl. Phys. Lett. 44, 468 (1984).
13. R. W. Devenish, D. J. Eaglesham, D. M. Maher, and C. J. Humphreys, Ultramicroscopy 28, 324 (1989).
14. W. Heitmann, Thin Solid Films 5, 6 (1970).
15. A. P. Bradford, G. Hass, and M. McFarland, Appl. Opt. 11, 2242 (1972).
16. J. D. Targove, B. G. Bovard, L. J. Lingg, and H. A. Macleod, Thin Solid Films 159, L57 (1988).
17. G. S. Chen, C. B. Boothroyd, and C. J. Humphreys, Appl. Phys. Lett. 69, 170 (1996).
18. D. H. Menz, A. Zacharias, and L. Kolditz, Thermal Analysis 33, 811 (1988).
19. P. B. Hirsch, A. Howie, R. B. Nicholson, D. W. Pashley, and M. J. Whelan, Electron Microscopy of Thin Crystals (Krieger, New York, 1977), p. 117.
20. G. S. Chen and C. J. Humphreys, J. Appl. Phys. 85, 148 (1999).