Reaction layer dynamics in ion-assisted Si/XeF2 etching: Ion flux dependence

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 17, Issue 6, 1999, Pages 3368-3378

  Sebel, P G M ^a   Hermans, L J F ^a   Beijerinck, H C W ^a  

^a EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0033419510     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.582068     Document Type: Article

References (23)

1. H. F. Winters and J. W. Coburn, Surf. Sci. Rep. 14, 161 (1992).
2. M. J. M. Vugts, L. J. F. Hermans, and H. C. W. Beijerinck, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2138 (1996).
3. J. L. Mauer, J. S. Logan, L. B. Zielinski, and G. C. Schwartz, J. Vac. Sci. Technol. 15, 1734 (1978).
4. Y. Tu, T. J. Chuang, and H. F. Winters, Phys. Rev. B 23, 823 (1981).
5. U. Gerlach-Meyer, Surf. Sci. 103, 524 (1981).
6. J. W. Coburn and H. F. Winters, Appl. Surf. Sci. 22, 63 (1985).
7. J. W. Coburn and H. F. Winters, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 27, 243 (1987).
8. D. J. Oostra and A. E. de Vries, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 18, 618 (1987).
9. J. A. Yarmoff and F. R. McFeely, Surf. Sci. 184, 389 (1987).
10. M. E. Barone and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 77, 1263 (1995).
11. H. F. Winters and J. W. Coburn, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1376 (1985).
12. G. J. P. Joosten, M. J. M. Vugts, H. J. Spruijt, H. A. J. Senhorst, and H. C. W. Beijerinck, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 636 (1994).
13. P. G. M. Sebel, L. J. F. Hermans, and H. C. W. Beijerick, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 755 (1999).
14. F. R. McFeely, J. F. Morar, N. D. Shinn, G. Landgren, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. B 30, 764 (1984).
15. F. R. McFeely, J. F. Morar, and F. J. Himpsel, Surf. Sci. 165, 277 (1986).
16. M. J. M. Vugts, G. J. P. Joosten, A. van Oosterum, H. A. J. Senhorst, and H. C. W. Beijerinck, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2999 (1994).
17. C. W. Lo, D. K. Shuh, V. Chakarian, T. D. Durbin, P. R. Varekamp, and J. A. Harmoff, Phys. Rev. B 47, 15648 (1993).
18. M. J. M. Vugts, M. F. A. Eurlings, L. J. F. Hermans, and H. C. W. Beijerinck, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2780 (1996).
19. D. C. Gray, I. Tepermeister, and H. H. Sawin, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1243 (1993).
20. 0 with respect to Refs. 2 and 18 in order to make them independent of the surface roughness.
21. H. F. Winters, J. Appl. Phys. 49, 5165 (1978).
22. H. F. Winters and J. W. Coburn, Appl. Phys. Lett. 34, 70 (1970).
23. H. F. Winters, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 700 (1985).