Plating technology ... Electrochemical processes in the microsystems technology: Effects, control and management;Galvanotechnik ... Galvanische prozesse in der mikrosystemtechnik: Effekte, kontrolle und steuerung

MO Metalloberflache Beschichten von Metall und Kunststoff

Volumn 53, Issue 9, 1999, Pages 34-38

  Bade, Klaus ^a   Fath, Andreas ^a   Leskopf, Werner ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

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DEPOSITION; ELECTROCHEMISTRY; LITHOGRAPHY; METALLOGRAPHIC MICROSTRUCTURE;

MICROSYSTEMS;

ELECTROPLATING;

EID: 0033200823     PISSN: 00260797     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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