Micromachining in plastics using x-ray lithography for the fabrication of micro-electrophoresis devices

Journal of Biomechanical Engineering

Volumn 121, Issue 1, 1999, Pages 13-21

  Ford, S M ^a   Davies, J ^a   Kar, B ^a   Qi, S D ^a   McWhorter, S ^a   Soper, S A ^a   Malek, C K ^a  

^a LOUISIANA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTROPHORESIS; MASKS; MICROPROCESSOR CHIPS; POLYMETHYL METHACRYLATES; X RAY LITHOGRAPHY;

MICROELECTROPHORESIS DEVICES; TRANSFER MASK TECHNOLOGY;

MICROMACHINING;

ARTICLE; BIOMEDICAL ENGINEERING; CHEMICAL ANALYSIS; COMPUTER NETWORK; ELECTROPHORESIS; GENETIC ANALYSIS; MEDICAL INSTRUMENTATION; X RAY ANALYSIS;

ELECTROPHORESIS, CAPILLARY; EQUIPMENT DESIGN; FIBER OPTICS; FILTRATION; POLYMETHYL METHACRYLATE; X-RAYS;

EID: 0033083514     PISSN: 01480731     EISSN: 15288951     Source Type: Journal    
DOI: 10.1115/1.2798035     Document Type: Article

References (43)

1. Heiger, D. N.; Cohen, A. S.; Karger, B. L., J. Chromatogr., 1990, 516, 33-48.
2. Luckey, J. A.; Drossman, H.; Kostichka, A. J.; Mead, D. A.; D’Cuhna, J.; Swerdlow, H.; Gesteland, R., Nucleic Acids Res., 1990, 18, 1415-1419.
3. Drossman, H.; Luckey, J. A.; Kostichka, A.; D’Cuhna, J.; Norris, T. B.; Smith, L. M., Anal Chem., 1990, 62, 900-903.
4. Chen, D.; Swerdlow, H. P.; Harke, H. R.; Zhang, J. Z.; Dovichi, N. J., J. Chromatogr., 1991, 349, 812-813.
5. Schwartz, H. E.; Ulfelder, K.; Sunzeri, F. J.; Busch, M. P.; Brownlee, R. G., J. Chromatogr., 1991, 559, 267-283.
6. Strege, M.; Lagu, A., Anal. Chem., 1991, 63, 1233-1236.
7. Grossman, P. D.; Soane, D. S., J. Chromatogr., 1991, 559, 257-266.
8. Pariat, Y. F.; Berka, J.; Heiger, D. N.; Schmitt, T.; Vilenchik, M.; Cohen, A. S.; Foret, F.; Karger, B. L., J. Chromatogr., 1993, 652, 57-66.
9. Barron, A. E.; Soane, D. S.; Blanch, H. W., J. Chromatogr., 1993, 652, 3-16.
10. Grossman, P. D., J. Chromatogr., 1994, 663, 219-227.
11. Hjerten, S., J. Chromatogr., 1985, 347, 191-198.
12. Grossman, P. D.; Colburn, J. C., Capillary Electrophoresis: Theory and Practice, Academic Press, 1992.
13. Harrison, J. D.; Fluri, K.; Seiler, K.; Fan, Z.; Effenhauser, C. S.; Manz, A., Science, 1993, 261, 895-897.
14. Effenhauser, C. S.; Manz, A.; Widmer, H. M., Anal. Chem., 1993, 65, 2637-2642.
15. Fan, Z. H.; Harrison, J. D., Anal. Chem., 1994, 66, 177-184.
16. Jacobson, S. C.; Hergenroder, R.; Koutny, L. B.; Warmack, R. J.; Ramsey, J. M., Anal. Chem., 1994, 66, 1107-1113.
17. Jacobson, S. C.; Hergenroder, R.; Koutny, L. B.; Ramsey, J. M., Anal. Chem., 1994, 66, 1114-1118.
18. Effenhauser, C. S., Paulus, A., Manz, A., Widmer, H. M., Anal. Chem., 1994, 66, 2949-2953.
19. Jacboson, S. C.; Koutny, L. B.; Hergenroder, R.; Moore, A. W.; Ramsey, J. M., Anal. Chem., 1994, 66, 3472-3476.
20. Seiler, K.; Fan, Z. H.; Fluri, K.; Harrison, D. J., Anal. Chem., 1994, 66, 3485-3491.
21. Jacobson, S. C.; Moore, A. W.; Ramsey, J. M., Anal. Chem., 1995, 67, 2059-2063.
22. Effenhauser, C. S.; Manz, A.; Widmer, H. M., Anal. Chem., 1995, 67, 2284-2287.
23. Woolley, A. T.; Mathies, R. A., Anal. Chem., 1995, 67, 3676-3680.
24. Raymond, D. E.; Manz, A.; Widmer, H. M., Anal. Chem., 1996, 68, 2515-2522.
25. Woolley, A. T.; Mathies, R. A., Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A., 1994, 91, 11348-11352.
26. Jacobson, S. C.; Ramsey, J. M., Anal. Chem., 1996, 68, 720-723.
27. Fluri, K.; Fitzpatrick, G.; Chiem, N.; Harrison, J. D., Anal. Chem., 1996, 68, 4285-4290.
28. Fan, Z. H.; Harrison, J. D., Anal. Chem., 1994, 66, 177-184.
29. Chiem, N.; Harrison, D. J., Anal. Chem., 1997, 69, 373-378.
30. Woolley, A. T.; Hadley, D.; Landre, P.; DeMeilo, A. J.; Mathies, R. A.; Northrup, M. A., Anal. Chem., 1996, 68, 4081-4086.
31. Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication, Vol. 1, P. Rai-Choudhury, ed., 1997.
32. Bley, P.; Goettert, J.; Harmening, M.; Himmelhaus, M.; Menz, W.; Mohr, J.; Muller, C, Wallarabe, U., Proc. Microsystem Technol., 1991, 302-314.
33. McCormick, R. M.; Nelson, R. J.; Alonso-Amigo, M. G.; Benvegnu, D. J.; Hooper, H. H., Anal. Chem., 1997, 69, 2626-2630.
34. Effenhauser, C. S.; Bruin, G. J.M.; Paulus, A.; Ehrat, M., Anal. Chem., 1997, 69, 3451-3457.
35. Martynova, L.; Locascio, L.; Galtan, M.; Kramer, G. W.; Christensen, R. G.; MacCrehan, W. A., Anal. Chem., 1997, 69, 4783-4789.
36. Vladimirsky, Y.; Vladimirsky, O.; Saile, V.; Morris, K. J.; Klopf, J. M., Proc. SPIE, 1995, 2437, 391-395.
37. Vladimirsky, Y.; Vladimirsky, O.; Saile, V.; Morris, K. J.; Klopf, J. M., Proc. SPIE, 1995, 2621, 399-405.
38. Stadler, S.; Derhalli, I.; Malek, C. K., SPIE Micromachining and Microfabrication, 1997, 3225, 102-108.
39. Wollersheim, O.; Zumaque, H.; Mormes, J.; Kadereit, D.; Langen, J.; HâuGling, L.; Hossel, P.; Hoffmann, G., Nucl. Instrum. Methods B, 1995, 1-6.
40. Ueno, N.; Kamiya, K.; Harada, Y.; Tinone, M.; Sekitani, T.; Tanaka, K., Optoelectronics, 1996, 11, 91-98.
41. Harrison, D. J.; Manz, A.; Fan, Z.; Ltldi, H.; Widmer, H. M., Anal. Chem., 1992, 64, 1926-1932.
42. Flanagan, J. H.; Legendre, B. L.; Hammer, R. P.; Soper, S. A., Anal. Chem., 1995, 67, 341-347.
43. Legendre, B. L.; Moberg, D. L.; Williams, D. C.; Soper, S. A., J. Chromatogr., 1997, 779, 185-194.