The Kinetics and Mechanism of the Pyrolysis of Manganese and Manganese Suicide CVD Precursors

Chemical Vapor Deposition

Volumn 4, Issue 3, 1998, Pages 103-107

  Russell, Douglas K ^a,b   Davidson, Iain M T ^a   Ellis, Andrew M ^a   Mills, Graham P ^a,c   Pennington, Mark ^a   Povey, Ian M ^a,d   Raynor, J Barrie ^a   Saydam, Sinan ^a,e  

^a UNIVERSITY OF LEICESTER   (United Kingdom)

^b UNIVERSITY OF AUCKLAND   (New Zealand)

^c UNIVERSITY OF EAST ANGLIA   (United Kingdom)

^d UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

^e FIRAT UNIVERSITY   (Turkey)

Author keywords

Kinetics; Manganese; Mechanism; Pyrolysis; Suicide

Indexed keywords

ELECTRON SPIN RESONANCE SPECTROSCOPY; FREE RADICAL REACTIONS; GAS CHROMATOGRAPHY; MANGANESE; MANGANESE COMPOUNDS; MASS SPECTROMETRY; PYROLYSIS; REACTION KINETICS;

MANGANESE SILICIDE;

METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 0032070367     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/(sici)1521-3862(199805)04:03<103::aid-cvde103>3.3.co;2-8     Document Type: Article

References (48)

1. The Chemistry of the Semiconductor Industry (Eds: S. J. Moss, A. Ledwith), Blackie, Glasgow 1987.
2. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy, Academic, London 1989.
3. Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications (Eds: M. L. Hitchman, K. F. Jensen) Academic, London 1993.
4. The Chemistry of Metal CVD (Eds: T. T. Kodas, M. Hampden-Smith), VCH, Weinheim 1994.
5. D. K. Russell, Coord. Chem. Rev. 1992, 112, 131.
6. I. M. T. Davidson, A. M. Ellis, G. P. Mills, M. Pennington, I. M. Povey, J. B. Raynor, D. K. Russell, S. Saydam, A. D. Workman, J. Mater. Chem. 1994, 4, 13.
7. D. K. Russell, I. M. T. Davidson, A. M. Ellis, G. P. Mills, M. Pennington, I. M. Povey, J. B. Raynor, S. Saydam, A. D. Workman, Organometallics 1995, 14, 3717.
8. G. A. West, K. W. Beeson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1989, 131, 389.
9. G. T. Stauf, P. A. Dowben, M. M. Boag, D. Morales de la Garza, S. L. Dowben, Thin Solid Films 1988, 156, 327.
10. B. J. Aylett, J. M. Campbell, J. Chem. Soc. A 1969, 1914.
11. B. J. Aylett, H. J. Colquhoun, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1977, 2058.
12. W. Jetz, P. B. Simons, J. A. J. Thompson, W. A. G. Graham, Inorg. Chem. 1966, 5, 2217.
13. G. N. Pain, N. Bharatula, G.I. Christianz, M. H. Kibel, M. S. Kwietniak, C. Sandford, T. Warminski, R. S. Dickson, R. S. Rowe, K. McGregor, G. B. Deacon, B. O. West, S. R. Glanvil, D. G. Hay, C. J. Rossouw, A. W. Stevenson, J. Cryst. Growth 1990, 101, 208.
14. H. M. Seip, R. Seip, Acta Chem. Scand. 1970, 24, 3431.
15. M. A. Andrews, J. Eckert, J. A. Goldstone, L. Passell, B. Swanson, J. Am. Chem. Soc. 1983, 105, 2262.
16. R. W. Cattrall, R. J. H. Clark, J. Organomet. Chem. 1966, 6, 167.
17. O. Khan, M. C. R. Bigorne, C. R. Hebd. Seances Acad. Sci. Ser. C 1968, 266, 792.
18. A. B. Dempster, D. B. Powell, N. J. Sheppard, J. Chem. Soc. A 1970, 1129.
19. J. B. Wilford, F. G. A. Stone, Inorg. Chem. 1965, 4, 389.
20. F. A. Cotton, A. Musco, G. Yagupsky, Inorg. Chem. 1967, 6, 1357.
21. J. Gang, M. Pennington, D. K. Russell, P. B. Davies, G. M. Hansford, N. A. Martin, J. Chem. Phys. 1992, 97, 3885.
22. T. E. Gismondi, M. D. Rausch, J. Organomet. Chem. 1985, 284, 59.
23. J. A. Connor, Top. Curr. Chem. 1977, 577, 71. D. Lalage, S. Brown, J. A. Connor, H. A. Skinner, J. Organomet. Chem. 1974, 81, 403. J. A. Connor, M. T. Zafarani-Moattar, J. Bikerton, N. I. Elsaied, S. Suradi, R. Carson, G. Altakhin, J. A. Skinner, Organometallics 1982, 1, 1166. J. A. Martinho-Simoes, J. L. Beauchamp, Chem. Rev. 1990, 90, 629.
24. J. A. Connor, Top. Curr. Chem. 1977, 577, 71. D. Lalage, S. Brown, J. A. Connor, H. A. Skinner, J. Organomet. Chem. 1974, 81, 403. J. A. Connor, M. T. Zafarani-Moattar, J. Bikerton, N. I. Elsaied, S. Suradi, R. Carson, G. Altakhin, J. A. Skinner, Organometallics 1982, 1, 1166. J. A. Martinho-Simoes, J. L. Beauchamp, Chem. Rev. 1990, 90, 629.
25. J. A. Connor, Top. Curr. Chem. 1977, 577, 71. D. Lalage, S. Brown, J. A. Connor, H. A. Skinner, J. Organomet. Chem. 1974, 81, 403. J. A. Connor, M. T. Zafarani-Moattar, J. Bikerton, N. I. Elsaied, S. Suradi, R. Carson, G. Altakhin, J. A. Skinner, Organometallics 1982, 1, 1166. J. A. Martinho-Simoes, J. L. Beauchamp, Chem. Rev. 1990, 90, 629.
26. J. A. Connor, Top. Curr. Chem. 1977, 577, 71. D. Lalage, S. Brown, J. A. Connor, H. A. Skinner, J. Organomet. Chem. 1974, 81, 403. J. A. Connor, M. T. Zafarani-Moattar, J. Bikerton, N. I. Elsaied, S. Suradi, R. Carson, G. Altakhin, J. A. Skinner, Organometallics 1982, 1, 1166. J. A. Martinho-Simoes, J. L. Beauchamp, Chem. Rev. 1990, 90, 629.
27. A. C. Baldwin, I. M. T. Davidson, A. V. Howard, J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1975, 71, 972.
28. I. M. T. Davidson, G. Eaton, K. J. Hughes, J. Organomet. Chem. 1988, 347, 17.
29. A. C. Baldwin, I. M. T. Davidson, M. D. Reed, J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1 1978, 74, 2171.
30. G. P. Mills, Ph.D. Thesis, University of Leicester, 1995.
31. J. A. Howard, J. R. Morton, K. F. Preston, Chem. Phys. Lett. 1981, 83, 226; M. C. R. Symons, R. L. Sweaney, Organometallics 1982, 1, 834. K. Mach, J. Nováková, J. B. Raynor, J. Organomet. Chem. 1992, 439, 341.
32. J. A. Howard, J. R. Morton, K. F. Preston, Chem. Phys. Lett. 1981, 83, 226; M. C. R. Symons, R. L. Sweaney, Organometallics 1982, 1, 834. K. Mach, J. Nováková, J. B. Raynor, J. Organomet. Chem. 1992, 439, 341.
33. J. A. Howard, J. R. Morton, K. F. Preston, Chem. Phys. Lett. 1981, 83, 226; M. C. R. Symons, R. L. Sweaney, Organometallics 1982, 1, 834. K. Mach, J. Nováková, J. B. Raynor, J. Organomet. Chem. 1992, 439, 341.
34. R. W. Wegman, Organometallics 1986, 5, 707.
35. R. A. Berrigan, J. B. Metson, D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1998, 4, 23.
36. R. B. King, D. A. King, M. J.Iqbal, C. C. Frazier, J. Am. Chem. Soc. 1978, 100, 1687. S. B. Butts, T. G. Richmond, D. F. Shriver, Inorg. Chem. 1981, 20, 278. S. B. Butts, S. H. Strauss, E. M. Holt, R. E. Stimson, N. W. Alcock, D. F. Shriver, J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 5093.
37. R. B. King, D. A. King, M. J.Iqbal, C. C. Frazier, J. Am. Chem. Soc. 1978, 100, 1687. S. B. Butts, T. G. Richmond, D. F. Shriver, Inorg. Chem. 1981, 20, 278. S. B. Butts, S. H. Strauss, E. M. Holt, R. E. Stimson, N. W. Alcock, D. F. Shriver, J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 5093.
38. R. B. King, D. A. King, M. J.Iqbal, C. C. Frazier, J. Am. Chem. Soc. 1978, 100, 1687. S. B. Butts, T. G. Richmond, D. F. Shriver, Inorg. Chem. 1981, 20, 278. S. B. Butts, S. H. Strauss, E. M. Holt, R. E. Stimson, N. W. Alcock, D. F. Shriver, J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 5093.
39. K. Noack, F. Calderazzo, J. Organomet. Chem. 1967, 10, 101.
40. T. L. Bent, J. D. Cotton, Organometallics 1991, 10, 3156.
41. R. B. King, Organometallic Synthesis, Vol. 1 (Eds: J. J. Eisch, R. B. King), Academic Press, New York 1965.
42. B. E. Douglas, Inorganic Syntheses, Vol. 18 (Ed: B. E. Douglas), Wiley, New York 1978.
43. T. Turanyi, V. S. Berces, S. Vajda, Int. J. Chem. Kinet. 1989, 21, 83. T. Turanyi, J. Mathemat. Chem. 1990, 5, 203. W. Braun, J. T. Herron, D. K. Kahaner, Int. J. Chem. Kinet. 1988, 20, 51.
44. T. Turanyi, V. S. Berces, S. Vajda, Int. J. Chem. Kinet. 1989, 21, 83. T. Turanyi, J. Mathemat. Chem. 1990, 5, 203. W. Braun, J. T. Herron, D. K. Kahaner, Int. J. Chem. Kinet. 1988, 20, 51.
45. T. Turanyi, V. S. Berces, S. Vajda, Int. J. Chem. Kinet. 1989, 21, 83. T. Turanyi, J. Mathemat. Chem. 1990, 5, 203. W. Braun, J. T. Herron, D. K. Kahaner, Int. J. Chem. Kinet. 1988, 20, 51.
46. G. A. Atiya, A. S. Grady, S. A. Jackson, N. Parker, D. K. Russell, J. Organomet. Chem. 1989, 378, 307.
47. D. K. Russell, Chem. Soc. Rev. 1990, 19, 407.
48. D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1996, 2, 223.