Radical and Molecular Processes in the Thermal Decomposition of Trimethyl and Triethyl Stibines

Chemical Vapor Deposition

Volumn 4, Issue 1, 1998, Pages 23-28

  Berrigan, Rebecca A ^a   Metson, James B ^a   Russell, Douglas K ^a  

^a UNIVERSITY OF AUCKLAND   (New Zealand)

Author keywords

Pyrolysis; Radicals; Surface analysis; Triethylstibine; Trimethylstibine

Indexed keywords

MOLECULAR SPECTROSCOPY; PARAMAGNETIC RESONANCE; PYROLYSIS; REACTION KINETICS; SEMICONDUCTING ANTIMONY;

TRIETHYL STIBINES; TRIMETHYL STIBINES;

METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 0031675014     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/(sici)1521-3862(199801)04:01<23::aid-cvde23>3.3.co;2-h     Document Type: Article

References (34)

1. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic Press, Boston, MA 1989.
2. G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth 1993, 128, 503.
3. H. R. Vydyanath, Semicond. Sci. Technol. 1990, 5, S213.
4. N. N. Travkin, B. K. Skachkov, I. G. Tonoyan, B. I. Kozyrkin, J. Gen. Chem. USSR (Engl. Transl.) 1978, 48, 2428.
5. S. J. W. Price, J. P. Richard, Can. J. Chem. 1972, 50, 966.
6. M. J. Cherng, H. R. Jen, C. A. Larsen, G. B. Stringfellow, H. Lundt, P. C. Taylor, J. Cryst. Growth 1986, 77, 408.
7. D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1996, 2, 223.
8. D. K. Russell, Coord. Chem. Rev. 1992, 112, 131.
9. C. A. Larsen, N. I. Buchan, S. H. Li, G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth 1990, 102, 103.
10. G. A. Atiya, A. S. Grady, S. A. Jackson, N. Parker, D. K. Russell, J. Organomet. Chem. 1989, 378, 307.
11. Y. D. Wu, Z-H Peng, Z. Hue, J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 9772.
12. C. A. Larsen, S. H. Li, G. B. Stringfellow, Chem. Mater. 1991, 3, 39.
13. G. Mills, Ph.D. Thesis, University of Leicester, UK 1995.
14. D. F. Grishin, V. K. Cherkasov, V. A. Dodonov, Izv. Akad. Nauk, Ser. Khim. 1994, 916.
15. S. G. Yudenich, O. N. Druzhkov, N. M. Uvarova, V. A. Dodonov, Zh. Obshch. Khim. 1983, 53, 2548.
16. V. A. Yablokov, I. A. Zelyaev, E. I. Mokarov, N. S. Lokhov, Zh. Obshch. Khim. 1987, 57, 2034.
17. G. P. Smith, R. Patrick, Int. J. Chem. Kinet. 1983, 15, 167.
18. J. M. Heitzinger, M. S. Jackson, J. G. Ekerdt, Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 352; J. M. Heitzinger, J. G. Ekerdt, J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 2772.
19. J. M. Heitzinger, M. S. Jackson, J. G. Ekerdt, Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 352; J. M. Heitzinger, J. G. Ekerdt, J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 2772.
20. C. A. Larsen, R. W. Gedridge, Jr., G. B. Stringfellow, Chem. Mater. 1991, 3, 39.
21. S. H. Li, C. A. Larsen, G. B. Stringfellow, R. W. Gedridge, J. Electron. Mater. 1991, 20, 457.
22. N. A. D. Carey, H. A. Meinema, J. G. Noltes, Inorg. Chem. 1968, 7, 2643.
23. A. S. Grady, A. L. Mapplebeck, D. K. Russell, M. G. Taylorson, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1990, 929; A. S. Grady, R. D. Markwell, D. K. Russell, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1991, 14.
24. A. S. Grady, A. L. Mapplebeck, D. K. Russell, M. G. Taylorson, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1990, 929; A. S. Grady, R. D. Markwell, D. K. Russell, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1991, 14.
25. R. E. Linney, D. K. Russell, J. Mater. Chem. 1993, 3, 587.
26. M. Geoffroy, L. Ginet, E. A. C. Lucken, J. Chem. Phys. 1977, 66, 5292.
27. Handbook of Chemistry and Physics, 60th ed. (Ed: R. C. Weast), CRC Press, Boca Raton, FL 1979.
28. D. K. Russell, Chem. Soc. Rev. 1990, 19, 407.
29. K. Heazle, Ph.D. Thesis, Monash University, Australia 1994.
30. L. Maier, D. Seyferth, F. G. A. Stone, E. G. Rochow, J. Am. Chem. Soc 1957, 79, 5884.
31. J. C. Mackie, K. R. Doolan, Int. J. Chem. Kinet. 1984, 16, 525.
32. MOLSPEC for Windows, Laser Photonics Inc., Andover, MA 1993.
33. L. S. Rothman, R. R. Gamache, A. Goldman, L. R. Brown, R. A. Toth, H. M. Pickett, R. L. Poynter, J.-M. Flaud, C. Camy-Peyret, A. Barbe, N. Husson, C. P. Rinsland, M. A. H. Smith, Appl. Opt. 1986, 26, 4058.
34. D. Briggs, M. P. Seah, in Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy, Wiley, New York 1983.