Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of Group 13 CVD Precursors

Chemical Vapor Deposition

Volumn 4, Issue 2, 1998, Pages 61-67

  Russell, Douglas K ^a   Mills, Graham P ^b   Raynor, J Barrie ^c   Workman, Andrew D ^d  

^a UNIVERSITY OF AUCKLAND   (New Zealand)

^b UNIVERSITY OF EAST ANGLIA   (United Kingdom)

^c UNIVERSITY OF LEICESTER   (United Kingdom)

^d UNIVERSITY OF BRADFORD   (United Kingdom)

Author keywords

Free radicals; Gallium; Indium; Pyrolysis; Trialkyls

Indexed keywords

ELECTRON SPIN RESONANCE SPECTROSCOPY; FREE RADICALS; GAS CHROMATOGRAPHY; MASS SPECTROMETRY; NUCLEAR MAGNETIC RESONANCE SPECTROSCOPY; PYROLYSIS; SEMICONDUCTING ALUMINUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTING FILMS; SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTING INDIUM COMPOUNDS;

TRIALKYL COMPOUNDS;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 0032027414     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/(sici)1521-3862(199803)04:02<61::aid-cvde61>3.3.co;2-i     Document Type: Article

References (57)

1. The Chemistry of the Semiconductor Industry (Eds: S. J. Moss, A. Ledwith) Blackie, Glasgow 1987. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic, London 1989. Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications (Eds: M. L. Hitchman, K. F. Jensen), Academic, London 1993. The Chemistry of Metal CVD (Eds: T. T. Kodas, M. Hampden-Smith), VCH, Weinheim 1994.
2. The Chemistry of the Semiconductor Industry (Eds: S. J. Moss, A. Ledwith) Blackie, Glasgow 1987. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic, London 1989. Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications (Eds: M. L. Hitchman, K. F. Jensen), Academic, London 1993. The Chemistry of Metal CVD (Eds: T. T. Kodas, M. Hampden-Smith), VCH, Weinheim 1994.
3. The Chemistry of the Semiconductor Industry (Eds: S. J. Moss, A. Ledwith) Blackie, Glasgow 1987. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic, London 1989. Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications (Eds: M. L. Hitchman, K. F. Jensen), Academic, London 1993. The Chemistry of Metal CVD (Eds: T. T. Kodas, M. Hampden-Smith), VCH, Weinheim 1994.
4. The Chemistry of the Semiconductor Industry (Eds: S. J. Moss, A. Ledwith) Blackie, Glasgow 1987. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic, London 1989. Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications (Eds: M. L. Hitchman, K. F. Jensen), Academic, London 1993. The Chemistry of Metal CVD (Eds: T. T. Kodas, M. Hampden-Smith), VCH, Weinheim 1994.
5. A. C. Jones, A. K. Holliday, D. J. Cole-Hamilton, M. M. Ahmad, N. D. Gerrard, J. Cryst. Growth 1984, 68, 1. A. H. Moore, M. D. Scott, J. J. Davies, D. C. Bradley, M. M. Faktor, H. Chudzynska, J. Cryst. Growth 1986, 77, 19. A. C. Jones, G. Wales, P. J. Wright, P. E. Oliver, Chemtronics 1987, 2, 83.
6. A. C. Jones, A. K. Holliday, D. J. Cole-Hamilton, M. M. Ahmad, N. D. Gerrard, J. Cryst. Growth 1984, 68, 1. A. H. Moore, M. D. Scott, J. J. Davies, D. C. Bradley, M. M. Faktor, H. Chudzynska, J. Cryst. Growth 1986, 77, 19. A. C. Jones, G. Wales, P. J. Wright, P. E. Oliver, Chemtronics 1987, 2, 83.
7. A. C. Jones, A. K. Holliday, D. J. Cole-Hamilton, M. M. Ahmad, N. D. Gerrard, J. Cryst. Growth 1984, 68, 1. A. H. Moore, M. D. Scott, J. J. Davies, D. C. Bradley, M. M. Faktor, H. Chudzynska, J. Cryst. Growth 1986, 77, 19. A. C. Jones, G. Wales, P. J. Wright, P. E. Oliver, Chemtronics 1987, 2, 83.
8. D. W. Squire, C. S. Dulcey, M. C. Lin, Chem. Phys. Lett. 1985, 116, 525. D. W. Squire, C. S. Dulcey, M. C. Lin, J. Vac. Sci. Technol. B 1985, 3, 1513.
9. D. W. Squire, C. S. Dulcey, M. C. Lin, Chem. Phys. Lett. 1985, 116, 525. D. W. Squire, C. S. Dulcey, M. C. Lin, J. Vac. Sci. Technol. B 1985, 3, 1513.
10. J. E. Butler, N. Bottka, R. S. Sillmon, D. K. Gaskill, J. Cryst. Growth 1986, 77, 163.
11. D. K. Russell, I. M. T. Davidson, A. M. Ellis, G. P. Mills, M. Pennington, I. M. Povey, J. B. Raynor, S. Saydam, A. D. Workman, Organometallics 1995, 14, 3717.
12. G. Mills, Ph.D. Thesis, University of Leicester, UK 1995.
13. R. A. Berrigan, J. B. Metson, D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1998, 4, 23.
14. D. K. Russell, Chem. Soc. Rev. 1990, 19, 407. D. K. Russell, Coord. Chem. Rev. 1992, 112, 131. D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1996, 2, 223.
15. D. K. Russell, Chem. Soc. Rev. 1990, 19, 407. D. K. Russell, Coord. Chem. Rev. 1992, 112, 131. D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1996, 2, 223.
16. D. K. Russell, Chem. Soc. Rev. 1990, 19, 407. D. K. Russell, Coord. Chem. Rev. 1992, 112, 131. D. K. Russell, Chem. Vap. Deposition 1996, 2, 223.
17. M. G. Jacko, S. J. W. Price, Can. J. Chem. 1963, 41, 1560.
18. S. J. W. Price, in Comprehensive Chemical Kinetics (Eds: C. H. Bamford, C. F. H. Tipper), Elsevier, Amsterdam 1972.
19. I. P. Herman, Chem. Rev. 1989, 89, 1232.
20. M. Suzuki, M. Sato, J. Electrochem. Soc. Solid State Sci. Technol. 1985, 132, 1684.
21. N. Suzuki, C. Anayama, K. Masu, T. Tsubouchi, N. Mikoshiba, Jpn. J. Appl. Phys. 1986, 25, 1236.
22. G. A. Atiya, A. S. Grady, S. A. Jackson, N. Parker, D. K. Russell, J. Organomet. Chem. 1989, 378, 307.
23. S. K. Shastri, S. Zemon, G. Lambert, J. Cryst. Growth 1984, 68, 437.
24. M. C. Paputa, S. J. W. Price, Can. J. Chem. 1979, 57, 3178.
25. A. S. Grady, A. L. Mapplebeck, D. K. Russell, M. G. Taylorson, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1990, 929.
26. A. S. Grady, R. D. Markwell, D. K. Russell, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1991, 14.
27. R. Lin, T. R. Gow, A. L. Backman, L. A. Caldwell, F. Lee, R. I. Masel, J. Vac. Sci. Technol. B 1989, 7, 725.
28. A. J. Murrell, A. T. S. Wee, D. H. Fairbrother, N. K. Singh, J. S. Foord, G. J. Davies, D. A. Andrews, J. Cryst. Growth 1990, 105, 199.
29. V. M. Donnelly, J. A. McCaulley, Surf. Sci. 1990, 238, 34.
30. N. I. Buchan, M. L. Yu, Surf. Sci. 1993, 280, 383.
31. Y. Fukuda, Y. Suzuki, J. Murata, N. Sanada, Appl. Surf. Sci. 1993, 65, 593.
32. J. M. Heitzinger, M. S. Jackson, J. G. Ekerdt, Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 352.
33. R. E. Linney, Ph.D. Thesis, University of Leicester, UK 1993.
34. R. W. Fessenden, R. H. Schuler, J. Chem. Phys. 1960, 33, 935.
35. R. W. Fessenden, R. H. Schuler, J. Chem. Phys. 1963, 39, 2147.
36. R. D. Hoare, I. M. Povey, M. E. Pemble, A. C. Jones, unpublished results.
37. P. A. Lane, T. Martin, R. W. Freer, P. D. J. Calcott, C. R. Whitehouse, A. C. Jones, S. Rushworth, Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 285.
38. P. A. Lane, T. Martin, C. R. Whitehouse, R. W. Freer, M. R. Houlton, P. D. J. Calcott, D. Lee, A. D. Pitt, A. C. Jones, S. Rushworth, Mater. Sci. Eng. B 1993, 17, 15.
39. A. C. Jones, P. A. Lane, T. Martin, R. W. Freer, P. D. J. Calcott, M. R. Houlton, C. R. Whitehouse, J. Cryst. Growth 1992, 124, 81.
40. T. H. Chiu, M. D. Williams, F. G. Sterz, J. F. Ferguson, J. Cryst. Growth 1994, 136, 148.
41. R. W. Freer, T. Martin, P. A. Lane, C. R. Whitehouse, R. Hogan, J. S. Foord, A. C. Jones, J. Cryst. Growth 1993, 127, 152.
42. A. S. Grady, R. E. Linney, R. D. Markwell, G. P. Mills, D. K. Russell, P. J. Williams, A. C. Jones, J. Mater. Chem. 1992, 2, 539.
43. P. B. Ayscough, C. Thomson, Trans. Faraday Soc. 1962, 58, 1477.
44. B. Smaller, M. Matheson, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1169.
45. M. Sana, G. Leroy, C. Wilante, Organometallics 1991, 10, 264.
46. D. G. Tuck, in Comprehensive Organometallic Chemistry (Eds: G. Wilkinson, F. G. A. Stone, E. W. Abel), Pergamon, Oxford 1982.
47. J. Berkowitz, G. B. Ellison, D. Gutman, J. Phys. Chem. 1994, 98, 2744.
48. P. S. Dixon, A. P. Stefani, M. J. Szwarc, J. Am. Chem. Soc. 1963, 85, 2551.
49. R. A. Sheldon, J. K. Kochi, J. Am. Chem. Soc. 1970, 92, 4395.
50. M. Tsuda, S. Oikawa, M. Morishita, M. Mashita, Jpn. J. Appl. Phys. 1987, 26, L564.
51. M. Tsuda, S. Oikawa, M. Morishita, M. Mashita, J. Cryst. Growth 1988, 91, 471.
52. A. S. Grady, R. E. Linney, R. D. Markwell, D. K. Russell, J. Mater. Chem. 1993, 3, 483. D. K. Russell, A. S. Grady, R. E. Linney, Z. Mahmood, R. D. Markwell, J. Organomet. Chem. 1996, 506, 327.
53. A. S. Grady, R. E. Linney, R. D. Markwell, D. K. Russell, J. Mater. Chem. 1993, 3, 483. D. K. Russell, A. S. Grady, R. E. Linney, Z. Mahmood, R. D. Markwell, J. Organomet. Chem. 1996, 506, 327.
54. A. J. Downs, C. R. Pulham, Chem. Soc. Rev. 1994, 23, 175.
55. K. Mach, J. Nováková, Z. Dolejsek, Collect. Czech. Chem. Commun. 1984, 49, 1325.
56. W. M. Shaub, S. H. Bauer, Int. J. Chem. Kinet. 1975, 7, 509.
57. J. C. Mackie, K. R. Doolan, Int. J. Chem. Kinet. 1984, 16, 525.