Insulator-coated sputter gun for growing superconducting oxide films

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 15, Issue 5, 1997, Pages 2605-2608

  Lin, R J ^a,b   Chen, L J ^a  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

^b INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0031533973     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580779     Document Type: Article

References (23)

1. G. Müller, B. Aschermann, H. Chaloupka, W. Diete, M. Getta, M. Hein, S. Hensen, F. Hill, M. Lenkens, S. O. Werbig, T. Patzelt, H. Piel, J. Rembesa, H. Schlick, T. Unshelm, and R. Wagner, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 1729 (1995).
2. D. W. Face, C. Wilker, Z. Y. Shen, P. Pang, and R. J. Small, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 1581 (1995).
3. R. E. Muenchausen, D. W. Cooke, S. R. Foltyn, X. D. Wu, and N. S. Nogar, Physica C 190, 46 (1991).
4. J. A. Greer, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 1821 (1992).
5. H. Busch, A. Fink, and A. Müller, J. Appl. Phys. 70, 2449 (1991).
6. R. Hiskes, S. A. DiCarolis, R. D. Jacowitz, Z. Lu, R. S. Feigelson, R. K. Route, and J. L. Young, J. Cryst. Growth 128, 781 (1993).
7. H. Kinder, P. Berberich, B. Utz, and W. Prusseit, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 1575 (1995).
8. S. Prakash, K. Chou, H. J. Doerr, C. V. Deshpandey, and R. F. Bunshah, Thin Solid Films 227, 95 (1993).
9. K. Kikuchi, S. Yuhya, and Y. Shiohara, J. Mater. Sci. Lett. 12, 1392 (1993).
10. Y. Saito, K. Sakabe, K. Ishihara, K. Manaka, and S. Suganomata, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 27, 1103 (1988).
11. S. M. Rossnagel and J. J. Cuomo, in Thin Film Processing and Characterization of High Temperature Superconductors, edited by J. M. E. Harper, R. J. Colton, and L. C. Feldman, AIP Conf. Proc. 165 (American Institute of Physics, New York, 1988), p. 106.
12. S. I. Shah and P. F. Garcia, Appl. Phys. Lett. 51, 2146 (1987).
13. M. Migliuolo, R. M. Belan, and J. A. Brewer, Appl. Phys. Lett. 56, 2572 (1990).
14. J. P. Krumme, Ron A. A. Hack, and Ivo J. M. M. Raaijmakers, J. Appl. Phys. 70, 6743 (1991).
15. R. J. Lin, J. H. Kung, and P. T. Wu, Physica C 153-155, 796 (1988).
16. U. Poppe, J. Schubert, R. R. Arons, W. Evers, C. H. Freiburg, W. Reichert, K. Schmidt, W. Sybertz, and K. Urban, Solid State Commun. 66, 661 (1988).
17. C. B. Eom, J. Z. Sun, K. Yamamoto, A. F. Marshall, K. E. Luther, T. H. Geballe, and S. S. Laderman, Appl. Phys. Lett. 55, 595 (1989).
18. J. Geerk, G. Linker, and O. Meyer, Mater. Sci. Rep. 4, 193 (1989).
19. J. K. Truman, W. R. White, P. H. Ballentine, D. S. Mallory, and A. M. Kadin, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1679 (1993).
20. R. J. Lin and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 62, 105 (1993).
21. R. J. Lin, L. J. Chen, C. C. Chin, and Y. C. Chen, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 1789 (1995).
22. R. J. Lin, L. J. Chen, L. J. Lin, Y. C. Yu, C. W. Wang, and E. K. Lin, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 5805 (1996).
23. A. P. Shapovalov, Y. M. Boguslavskij, A. I. Ruban, G. G. Gridneva, V. S. Melnikov, and N. P. Pshentsova, Supercond. Sci. Technol. 5, 283 (1992).