Synthesis of Al(N3)3 and the deposition of AlN thin films

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 101, Issue 9, 1997, Pages 1602-1608

  Linnen, C J ^a   Macks, D E ^a   Coombe, R D ^a  

^a UNIVERSITY OF DENVER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CALCULATIONS; DEPOSITION; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; LOW TEMPERATURE OPERATIONS; MOLECULAR VIBRATIONS; STOICHIOMETRY; STRUCTURE (COMPOSITION); SYNTHESIS (CHEMICAL); THIN FILMS;

ALUMINUM NITRIDE; AZIDE;

ALUMINUM COMPOUNDS;

EID: 0031078158     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp9625873     Document Type: Article

References (29)

1. Baier, H.-U.; Monch, W. J. Appl. Phys. 1990, 68, 586.
2. Pearce, L. G., Gunshor, R. L., Pierret, R. F. Appl. Phys. Lett. 1981, 39, 878.
3. Lundquist, P. M.; Lin, W. P.; Xu, Z. Y.; Wong, G. K.; Rippert, E. D.; Helfrich J. Al; Ketterson, J. B. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 1085.
4. Kubota, K.; Kobayashi, Y.; Fujimoto, K. J. Appl. Phys. 1989, 66, 2984.
5. Mazur, U.; Cleary, A. C. J. Phys. Chem. 1990, 94, 189. Wang, X. D.; Hipps, K. W., Mazur, U. J. Chem. Phys. 1992, 96, 8485.
6. Mazur, U.; Cleary, A. C. J. Phys. Chem. 1990, 94, 189. Wang, X. D.; Hipps, K. W., Mazur, U. J. Chem. Phys. 1992, 96, 8485.
7. Zarwasch, R.; Rille, E.; Pulker, H. K. J. Appl. Phys. 1992, 71, 5275.
8. Yoshida, S.; Misawa, S.; Fujii, Y.; Takada, S.; Hayakawa, H.; Fonda, S.; Itoh, A. J. Vac. Sci. Technol. 1970, 16, 990.
9. Yim, W. M.; Strofko, E. J.; Zanzucchi, P. J.; Pankove, J. I., Ettenberg, M.; Gilbert, S. L. J. Appl. Phys. 1973, 44, 292.
10. Seki, K.; Xu, X.; Okabe, H.; Frye, J.; Halpern, J. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 2234.
11. Manesevit, H. M.; Erdmann, F. M.; Simpson, W. I. J. Electrochem. Soc. 1971, 118, 1864.
12. Gaskill, D. K.; Bottka, N.; Lin, M. C. J. Cryst. Growth 1986, 77, 418.
13. Interrante, L. V.; Carpenter, Jr., L.; Whitmarsh, C.; Lee, W.; Garbaukas, M.; Alsck, G. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1986, 77, 418.
14. Boyd, D. C.; Haasch, R. T.; Mantell, D. R.; Schulze, R. K.; Evans, J. F.; Gladfelter, W. L. Chem. Mater. 1989, 1, 119.
15. Hoffman, D. M.; Rangarajan, S. P.; Satish, D. A.; Economou, D. J.; Liu, J.-R.; Zheng, Z.; Chu, W.-K. J. Vac. Sci. Technol. A 1996, 14, 306.
16. Mulinax, R. L.; Okin, G. S.; Coombe, R. D. J. Phys. Chem. 1995, 99, 6294.
17. Wiberg, E.; Michaud, H. Z. Naturforsch., Teil B 1954, 9, 495.
18. Schlie, L. A.; Wright, M. W. J. Chem. Phys. 1990, 92, 394.
19. McDonald, J. R.; Rabalais, J. W.; McGlynn, S. P. J. Chem. Phys 1970, 85, 290.
20. Kvisle, S.; Rytter, E. J. Mol. Struct. 1984, 117, 51.
21. Nakamoto, K. Infrared and Roman Spectra of Inorganic and Coordination Compounds; John Wiley & Sons: New York, 1986.
22. Patai, S. The Chemistry of the Azido Group; John Wiley & Sons: New York, 1971; Chapter 1.
23. Smith, M. B. J. Organomet. Chem. 1971, 46, 31.
24. Frisch, J. M.; Trucks, G. W.; Head-Gordon, M.; Gill, P. M.; Wong, M. W.; Foresman, J. B.; Johnson, B. G.; Schlegel, H. B.; Robb, M. A.; Replogle, E. S.; Gomperts, R.; Andres, J. L.; Rachavachari, K.; Binkley, J. S.; Gonzalez, C.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Defrees, D. J.; Baker, J.; Stewart, J. J.; Pople, J. A. GAUSSIAN 92; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1992.
25. Kvisle, S.; Rytter, E. Spectrochim. Acta 1984, 40A, 939. Kvisle, S.; Rytter, , E. J. Mol. Struct. 1984, 117, 51.
26. Kvisle, S.; Rytter, E. Spectrochim. Acta 1984, 40A, 939. Kvisle, S.; Rytter, , E. J. Mol. Struct. 1984, 117, 51.
27. Collins, A. T.; Lightowlers, E. C.; Dean, P. J. Phys. Rev. 1967, 158, 3, 833.
28. Mazur, U., Langmuir 1990, 6, 1331.
29. Sipachev, V. A.; Grigor'ev, A. I. Russ. J. Inorg. Chem. 1970, 15, 905.