The influence of hydrogen on CVD-growth on Si(111) surfaces

Physica Status Solidi (A) Applied Research

Volumn 159, Issue 1, 1997, Pages 39-51

  Kohler U ^a   Andersohn, L ^b   Bethge, H ^b  

^a UNIVERSITY OF KIEL   (Germany)

^b LEIBNIZ UNIVERSITY HANNOVER   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DESORPTION; HYDROGEN; MOLECULAR BEAM EPITAXY; NUCLEATION; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SEMICONDUCTING SILICON; SILANES;

GAS PHASE PRECURSOR; SILICON HOMOEPITAXY;

SEMICONDUCTOR GROWTH;

EID: 0030671927     PISSN: 00318965     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/1521-396X(199701)159:1<39::AID-PSSA39>3.0.CO;2-N     Document Type: Article

References (15)

1. M. COPEL and R. M. TROMP, Phys. Rev. Lett. 72, 1236 (1994).
2. D. J. EAGLESHAM, F. C. UNTERWALD, H. LUFTMAN, D. P. ADAMS, and S. M. YALISOVE, J. Appl. Phys. 74, 6615 (1993).
3. M. HORN-VON HOEGEN and A. GOLLA, Phys. Rev. Lett. 76, 2953 (1996).
4. R. IMBIHL, J. E. DEMUTH, S. M. GATES, and B. A. SCOTT, Phys. Rev. B 39, 5222 (1989).
5. S. K. KULKARNI, S. M. GATES, B. A. SCOTT, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 13 (1990). S. K. KULKARNI, S. M. GATES, C. M. GREENLIEF, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 26 (1990); J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2956 (1990).
6. S. K. KULKARNI, S. M. GATES, B. A. SCOTT, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 13 (1990). S. K. KULKARNI, S. M. GATES, C. M. GREENLIEF, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 26 (1990); J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2956 (1990).
7. S. K. KULKARNI, S. M. GATES, B. A. SCOTT, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 13 (1990). S. K. KULKARNI, S. M. GATES, C. M. GREENLIEF, and H. H. SAWIN, Surf. Sci. 239, 26 (1990); J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2956 (1990).
8. K. WERNER, S. BUTZKE, S. RADELAAR, and P. BALK, J. Crystal Growth 136, 338 (1994).
9. L. ANDERSOHN, TH. BERKE, U. KÖHLER, and B. VOIGTLÄNDER, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 312 (1996).
10. J. A. VENABLES, G. D. T. SPILLER, and M. HANBÜCKEN, Rep. Progr. Phys. 47, 399 (1984).
11. J. ABREFAH and D. R. OLANDER, Surf. Sci. 209, 291 (1989).
12. L. M. LIFSHITZ and V. V. SLYOZOV, J. Phys. Chem. Solids 19, 35 (1961).
13. U. KÖHLER, L. ANDERSOHN, and B. DAHLHEIMER, Appl. Phys. A 57, 491 (1993).
14. J. G. E. GARDENIERS, M. M. W. MOOREN, and L. J. GILING, Surf. Sci. 236, 85 (1990).
15. J. G. E. GARDENIERS, W. E. J. R. MAAS, R. Z. C. VAN MEERTEN, and L. J. GILING. J. Crystal Growth 96, 821 (1989).