X-ray-diffraction study of quasipseudomorphic ErSi1.7 layers formed by channeled ion-beam synthesis

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 10, 1996, Pages 5713-5717

  Wu, M F ^a,b   Vantomme, A ^b,d   Pattyn, H ^b   Langouche, G ^b   Yang, Qinqing ^c   Wang, Qiming ^c  

^a PEKING UNIVERSITY   (China)

^b KU LEUVEN   (Belgium)

^c INSTITUTE OF SEMICONDUCTORS   (China)

^d FUND FOR SCIENTIFIC RESEARCH   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013032038     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.363623     Document Type: Review

References (38)

1. J. E. E. Baglin, F. M. d'Heurle, and C. S. Petersson, Appl. Phys. Lett. 36, 594 (1980); J. Appl. Phys. 52, 2841 (1981).
2. J. E. E. Baglin, F. M. d'Heurle, and C. S. Petersson, Appl. Phys. Lett. 36, 594 (1980); J. Appl. Phys. 52, 2841 (1981).
3. K. U. Tu, R. D. Thompson, and B. Y. Tsaur, Appl. Phys. Lett. 38, 626 (1981).
4. J. A. Knapp and S. T. Picraux, Appl. Phys. Lett. 48, 466 (1986); Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 54, 261 (1986).
5. J. A. Knapp and S. T. Picraux, Appl. Phys. Lett. 48, 466 (1986); Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 54, 261 (1986).
6. C.-J. Youn, K. Jungling, and W. W. Grannemann, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2474 (1988).
7. V. M. Koleshko, V. F. Belitsky, and A. A. Knodin, Thin Solid Films 141, 277 (1986).
8. A. Golanski, W. H. Christie, M. D. Galloway, J. L. Park, S. J. Pennycook, D. B. Poker, J. L. Moore, H. E. Harmon, and C. W. White, Nucl. Instrum. Methods B 59/60, 444 (1991).
9. C. Vannuffel, Inst. Phys. Conf. Ser. 146, 537 (1995).
10. G. Molnár, I. Geröcs, G. Petö, E. Zsoldos, and J. Gyulai, Appl. Phys. Lett. 58, 249 (1991).
11. T. L. Alford and J. C. Barbour, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 157, 137 (1990).
12. J. J. Qian, Y. T. Wang, J. Ho, and C. C. Hsu, Appl. Phys. Lett. 57, 43 (1990).
13. A. Travlos, P. Aloupogiannis, G. Weber, and G. Robaye, J. Appl. Phys. 70, 7620 (1991)
14. C. H. Luo, F. R. Chen, and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 76, 5744 (1994).
15. S. Jin, J. H. Lin, L. J. Chen, W. D. Shi, and Z. Zhang, Nucl. Instrum. Methods B 96, 347 (1995).
16. T. L. Alford, J. Appl. Phys. 77, 1010 (1995).
17. J. Y. Duboz, P. A. Badoz, F. Arnaud d'Avitaya, and J. A. Chroboczek, Appl. Phys. Lett. 55, 84 (1989).
18. M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, and G. Langouche, Appl. Phys. Lett. 67, 3886 (1995).
19. M. F. Wu, A. Vantomme, J. De Wachter, S. Degroote, H. Pattyn, G. Langouche, and H. Bender, J. Appl. Phys. 79, 6920 (1996).
20. F. H. Kaatz, M. P. Siegal, W. R. Graham, J. Van der Spiegel, and J. J. Santiago, Thin Solid Films 184, 325 (1990).
21. M. P. Siegal, F. H. Kaatz, W. R. Graham, J. J. Santiago, and J. Van der Spiegel, Appl. Surf. Sci. 38, 162 (1989).
22. J. Y. Duboz, P. A. Badoz, A. Perio, J. C. Oberlin, F. Arnaud d'Avitaya, Y. Campidelli, and J. A. Chroboczek, Appl. Surf. Sci. 38, 171 (1989).
23. F. Arnaud d'Avitaya, P. A. Badoz, Y. Campidelli, J. A. Chroboczek, J. Y. Duboz, A. Perio, and J. Pierre, Thin Solid Films 184, 283 (1990).
24. J. A. Knapp, S. T. Picraux, C. S. Wu, and S. S. Lau, Appl. Phys. Lett. 44, 747 (1984); J. Appl. Phys. 58, 3747 (1985).
25. J. A. Knapp, S. T. Picraux, C. S. Wu, and S. S. Lau, Appl. Phys. Lett. 44, 747 (1984); J. Appl. Phys. 58, 3747 (1985).
26. P. L. Janega, J. McCaffrey, and D. Landheer, Appl. Phys. Lett. 55, 1425 (1989).
27. F. Arnaud d'Avitaya, A. Perio, J. C. Oberlin, Y. Campidelli, and J. A. Chroboczek, Appl. Phys. Lett. 54, 2198 (1989).
28. C. d'Anterroches, P. Perret, F. Arnaud d'Avitaya, and J. A. Chroboczek, Thin Solid Films 184, 349 (1990).
29. S. Auffert, J. Pierre, B. Lambert, J. L. Soubeyroux, and J. A. Chroboczek, Physica B 162, 271 (1990).
30. D. J. Eaglesham, J. Michel, E. A. Fitzgerald, D. C. Jacobson, J. M. Poate, J. L. Benton, A. Polman, Y.-H. Xie, and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991).
31. I. Sagnes, G. Vincent, and P. A. Badoz, J. Appl. Phys. 72, 4295 (1992).
32. F. H. Kaatz, W. R. Graham, and J. Van der Spiegel, Appl. Phys. Lett. 62, 1748 (1993).
33. M. G. Grimaldi, X.-S. Yan, G. Scerra, S. Ravesi and C. Spinella, Appl. Phys. Lett. 67, 974 (1995).
34. The authors probably mean the 〈1213〉 axis.
35. M. F. Wu, A. Vantomme, G. Langouche, H. Vanderstraeten, and Y. Bruynseraede, Nucl. Instrum. Methods B 54, 444 (1991).
36. B. M. Paine, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 69, 39 (1986).
37. J. M. Vandenberg, A. E. White, R. Hull, K. T. Short, and S. M. Yalisove, J. Appl. Phys. 67, 787 (1990).
38. M. F. Wu, J. De Wachter, A.-M. Van Bavel, R. Moons, A. Vantomme, H. Pattyn, G. Langouche, H. Bender, J. Vanhellemont, K. Temst, and Y. Bruynseraede, J. Appl. Phys. 78, 1707 (1995).