Changes in permittivity of silicon implanted through an aluminum layer

Nukleonika

Volumn 44, Issue 2, 1999, Pages 285-288

  Zukowski, P ^a   Partyka, J ^a   Wegierek P ^a  

^a LUBLIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Poland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0011817521     PISSN: 00295922     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (5)

1. Żukowski P., Kantorow S. B., Kiszczak K., Ma̧czka D., Rodzik A., Stelmakh V. F., Czarnecka-Such E.: Phys. Stat. Sol. (a) 128, 117-119, 1991.
2. Żukowski P.: Sov. Phys. Semicond. 26, 84 1992.
3. Żukowski P. Partyka J., Wȩgierek P.: Phys. Stat. Sol. (a) 159, 509, 1997.
4. Żukowski P. Partyka J., Wȩgiėrek P.: Journal of Technical Physics, 39, 1, 143-147, 1998.
5. Burenkov A. F., Komarov F. F., Kumachov M. A., Temkin M. M.: Tablicy parametrov prostranstrennogo raspredelenija ionno-implantirovannyh primesej. Mińsk 1980.