Effect of ion energy on the optical and structural properties of SiO2 grown by plasma-enhanced chemical-vapor deposition

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 8, 1996, Pages 4707-4714

  Durandet, A ^a   McKenzie, D R ^b  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

^b UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0011479685     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.363428     Document Type: Article

References (26)

1. D. M. Mattox, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 1105 (1989).
2. K. L. Seaward, J. E. Turner, K. Nauka, and A. M. E. Nel, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 118 (1995).
3. N. Jiang, B. Agius, M. C. Hugon, J. Olivier, and M. Puech, J. Appl. Phys. 76, 1847 (1994).
4. O. Joubert, R. Burke, L. Vallier, C. Martinet, and R. A. B. Devine, Appl. Phys. Lett. 62, 228 (1993).
5. R. G. Amdosca, W. J. Varhue, and E. Adams, J. Appl. Phys. 72, 1126 (1992).
6. R. W. Boswell and R. K. Porteus, Appl. Phys. Lett. 50, 1130 (1987).
7. R. W. Boswell, A. J. Perry, and M. Emami, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3345 (1989).
8. G. Giroult-Matlakowski, C. Charles, A. Durandet, R. W. Boswell, S. Armand, H. M. Persing, A. J. Perry, P. D. Lloyd, S. R. Hyde, and D. Bogsanyi, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2754 (1994).
9. A. J. Perry, D. Vender, and R. W. Boswell, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 310 (1991).
10. R. W. Boswell, Plasma Phys. Controlled Fusion 26, 1147 (1984).
11. K. Suzuki, K. Ninomiya, S. Nishimatsu, and S. Okudaira, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1025 (1985).
12. C. Steinbrüchel, Appl. Phys. Lett. 55, 1961 (1989).
13. D. R. McKenzie, D. A. Muller, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. Lett. 67, 773 (1991).
14. P. J. Martin, R. P. Netterfield, T. J. Kinder, and A. Bendavid, Appl. Opt. 31, 6734 (1992).
15. H. Ljungcrantz, L. Hultman, J. E. Sundgren, and L. Karlsson, J. Appl. Phys. 78, 832 (1995).
16. C. A. Davis, Thin Solid Films 226, 30 (1994).
17. M. Kitagawa, T. Hirao, T. Ohmura, and T. Izumi, Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1048 (1989).
18. T. S. Narasimhamurty, Photoelastic and Electro-optic Properties of Crystals (Plenum, New York, 1981), p. 292.
19. H. Leplan, B. Geenen, J. Y. Robic, and Y. Pauleau, J. Appl. Phys. 78, 962 (1995).
20. D. R. McKenzie, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1928 (1993).
21. L. Rayleigh, Philos. Mag. 34, 481 (1892).
22. W. A. Pliskin, J. Vac. Sci. Technol. 14, 1064 (1977).
23. P. G. Pai, S. S. Chao, Y. Takagi, and G. Luckovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 689 (1986).
24. R. A. Devine, J. Electron. Mater. 19, 1299 (1990).
25. S. Dzioba and R. Rousina, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 433 (1994).
26. A. Durandet, A. Perry, R. Boswell, F. Ladouceur, J. Love, M. Faith, P. Kemeny, X. Ma, and M. Austin, Electron. Lett. 32, 326 (1996).