Optische Formmessung an Bohrungen

ITG-Fachbericht

Volumn , Issue 148, 1998, Pages 145-149

  Weckenmann, Albert ^a   Kersting, Thomas ^a   Schmitz, Stefan ^a  

^a UNIVERSITY OF ERLANGEN NUREMBERG   (Germany)

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EID: 0010626132     PISSN: 09326022     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Article

References (3)

1. Brinkmartn, S. et al.: Axicon-type test interferometer for cylindrical surfaces. Optik, Vol. 102, No. 3, S. 106-110, 1996
2. Jopp GmbH: Automatisierte Bohrungsprüfung. 1996. - Firmenprospekt
3. Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen US: PanCam Automatisches Prüfsystem zur Inspektion von Innenflächen. 1997. - Firmenprospekt