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Volumn 98, Issue 1-3, 1998, Pages 1228-1232

Plasma assisted deposition of Pd thin films

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Pd thin films; Plasma sputter deposition

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EID: 0009859573     PISSN: 02578972     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0257-8972(97)00226-0     Document Type: Article
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References (8)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.