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Volumn 71, Issue 11, 2000, Pages 4182-4187

High-concentration ozone generator for oxidation of silicon operating at atmospheric pressure

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EID: 0006745970     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1310340     Document Type: Article
Times cited : (22)

References (18)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.