Electrical and microstructural analyses on the Au/Ni/Au/Ge/Pd ohmic contact to n-InGaAs and n-GaAs

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 37, Issue 3 SUPPL. B, 1998, Pages 1348-1352

  Kim, Il Ho ^a   Park, Sung Ho ^a   Kim, Jwayeon ^b   Lee, Jong Min ^a   Lee, Tae Woo ^a   Park, Moon Pyung ^a  

^a Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

^b Hoseo University   (South Korea)

Author keywords

Gallium arsenide; Germanium; Indium gallium arsenide; Ohmic contact; Palladium

Indexed keywords

EID: 0001718383     PISSN: 00214922     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/jjap.37.1348     Document Type: Article

References (18)

1. N. Braslau: J. Vac. Sci. & Technol. A 4 (1986) 3085.
2. J. M. Woodall and J. L. Freeouf: J. Vac. Sci. & Technol. 19 (1981) 794.
3. P. H. Hao, L. C. Wang, Fei Deng, S. S. Lau and J. Y. Cheng: J. Appl. Phys. 79 (1996) 4211.
4. L. C. Wang: J. Appl. Phys. 77 (1995) 1607.
5. J. Tsuchimoto, S. Shikata and H. Hayashi: J. Appl. Phys. 69 (1991) 6556.
6. M. W. Cole, W. Y. Han, L. M. Casas, D. W. Eckart and K. A. Jones: J. Vac. Sci. & Technol. A 12 (1994) 1904.
7. A. Herrera-Gomez, P. L. Meissner, J. C. Bravman and W. E. Spicer: J. Vac. Sci. & Technol. A 10 (1992) 1029.
8. P. H. Hao, L. C. Wang and B. J. Wu: Electron. Lett. 31 (1995) 1106.
9. Y. Yamane, Y. Takahashi, H. Ishii and M. Hirayama: Electron. Lett. 23 (1987) 382.
10. H. Fathollahnejad, R. Rajesh, J. Liu, R. Droopad, G. N. Maracas and R. W. Carpenter: J. Electron. Mater. 24 (1995) 35.
11. L. C. Wang, S. S. Lau, E. K. Hsieh and J. R. Velebir: Appl. Phys. Lett. 54 (1989) 2677.
12. E. D. Marshall, W. X. Chen, C. S. Wu, S. S. Lau and T. F. Keuch: Appl. Phys. Lett. 48 (1985) 535.
13. W. L. Chen, J. C. Cowles, G. I. Haddad, G. O. Munns, K. W. Eisenbeiser and J. R. East: J. Vac. Sci. & Technol. B 10 (1992) 2354.
14. J. O. Jeong, H. Y. Lee, T. W. Lee, M. P. Park, S. H. Park and K. E. Pyun: J. Kor. Phys. Soc. 29 (1996) 526.
15. J. H. Lee, H. S. Yoon, B. S. Park, C. S. Park, S. S. Choi and K. E. Pyun: ETRIJ. 18 (1996) 17.
16. L. G. Shantharama, H. Schumacher, H. P. Leblanc, R. Esagui, R. Bhat and M. Koza: Electron. Lett. 26 (1990) 1127.
17. S. H. Park, M. P. Park, T. W. Lee, K. M. Song, K. E. Pyun and H. M. Park: Proc. 22nd Int. Symp. Compound Semiconductors, 1995, p. 295.
18. T. Nittono, H. Ito, O. Nakajima and T. Ishibashi: Jpn. J. Appl. Phys. 25 (1986) L865.