Sensitivity of near-edge x-ray absorption fine structure spectroscopy to ion beam damage in diamond films

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 8, 1999, Pages 4192-4198

  Laikhtman, A ^a   Gouzman, I ^a,c   Hoffman, A ^a   Comtet, G ^b   Hellner, L ^b   Dujardin, G ^b  

^a TECHNION ISRAEL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Israel)

^b UNIVERSITÉ PARIS SACLAY   (France)

^c SOREQ NUCLEAR RESEARCH CENTER   (Israel)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001643244     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371346     Document Type: Article

References (29)

1. D. M. Gruen, A. R. Krauss, C. D. Zuiker, R. Csencsits, L. J. Terminello, J. A. Carlisle, I. Jimenez, D. G. J. Sutherland, D. K. Shuh, W. Tong, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 68, 1640 (1996).
2. F. L. Coffman, R. Cao, P. A. Pianetta, S. Kapoor, M. Kelly, and L. J. Terminello, Appl. Phys. Lett. 69, 568 (1996).
3. M. M. Garcia, I. Jimenez, L. Vazquez, C. Gomez-Aleixandre, J. M. Abella, O. Sanchez, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 72, 2105 (1998).
4. I. Gouzman, A. Hoffman, G. Comtet, L. Hellner, G. Dujardin, and M. Petravic, Appl. Phys. Lett. 72, 2517 (1998).
5. R. Kohl, C. Wild, N. Herres, P. Koidl, B. R. Stoner, and J. T. Glass, Appl. Phys. Lett. 63, 1792 (1993).
6. A. Hoffman, G. Comtet, L. Hellner, G. Dujardin, and M. Petravic, Appl. Phys. Lett. 73, 1152 (1998).
7. L. Fayette, B. Marcus, M. Mermoux, G. Tourillon, K. Laffon, P. Parent, and F. Le Normand, Phys. Rev. B 57, 14 123 (1998).
8. R. Kalish, Appl. Surf. Sci. 117/118, 558 (1997).
9. C. Uzan-Saguy, C. Cytermann, R. Brener, V. Richter, M. Shaanan, and R. Kalish, Appl. Phys. Lett. 67, 1194 (1995).
10. R. A. Spits, J. F. Prins, and T. E. Perry, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 85, 347 (1994).
11. A. Laikhtman, A. Hoffman, R. Kalish, Y. Avigal, A. Breskin, R. Chechik, E. Shefer, and Y. Lifshitz, Appl. Phys. Lett. 73, 1433 (1998).
12. J. Zeigler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1985).
13. A. Hoffman, S. Prawer, and R. Kalish, Phys. Rev. B 45, 12 736 (1992).
14. J. F. Morar, F. J. Himpsel, G. Hollinger, J. L. Jordan, G. Hughes, and F. R. McFeely, Phys. Rev. B 33, 1346 (1986).
15. J. F. Morar, F. J. Himpsel, G. Hollinger, G. Hughes, and J. L. Jordan, Phys. Rev. Lett. 54, 1960 (1985).
16. J. Nithianandam, Phys. Rev. Lett. 69, 3108 (1992).
17. A. Hoffman, S. Prawer, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 1, 440 (1992).
18. S. Prawer, A. Hoffman, and R. Kalish, Appl. Phys. Lett. 57, 2187 (1990).
19. Y. Takata, K. Edamatsu, T. Yokoyama, K. Seki, M. Tohnan, T. Okada, and T. Ohta, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 28, 1282 (1989).
20. L. J. Huang, I. Bello, W. M. Lau, S.-T. Lee, P. A. Stevens, and B. D. DeVries, J. Appl. Phys. 76, 7483 (1994).
21. J. Nithianandam, J. C. Rife, and H. Windischmann, Appl. Phys. Lett. 60, 135 (1992).
22. M. Lubbe, P. R. Bressler, D. Drews, W. Braun, and D. R. T. Zahn, Diamond Relat. Mater. 7, 247 (1998).
23. A. Gutierrez, J. Diaz, and M. F. Lopez, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 61, 111 (1995).
24. J. F. Morar, F. J. Himpsel, G. Hollinger, J. L. Jordan, G. Hughes, and F. R. McFeely, Phys. Rev. B 33, 1340 (1986).
25. R. Graupner, F. Maier, J. Ristein, L. Ley, and Ch. Yung, Phys. Rev. B 57, 12 397 (1998).
26. L. Diederich, O. M. Kuttel, P. Aebi, and L. Schlapbach, Surf. Sci. 418, 219 (1998).
27. W. M. Lau, L. J. Huang, I. Bello, Y. M. Yiu, and S.-T. Lee, J. Appl. Phys. 75, 3385 (1994).
28. H. Kawarada, Surf. Sci. Rep. 26, 205 (1996).
29. C. Uzan-Saguy, V. Richter, S. Prawer, Y. Lifshitz, E. Grossman, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 4, 569 (1995).