Comparison of the thermal stability of Si0.603Ge0.397/Si and Si0.597Ge0.391C0.012/Si superlattice structures

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 9, 1997, Pages 6134-6140

  Zaumseil, P ^a   Fischer, G G ^a   Brunner, K ^b   Eberl, K ^b  

^a IHP   (Germany)

^b MAX PLANCK INSTITUT FÜR FESTKÖRPERFORSCHUNG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001357929     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364361     Document Type: Review

References (28)

1. S. C. Jain, Germanium-Silicon Strained Layers and Heterostructures (Academic, Boston, 1994).
2. J. W. Matthews and A. E. Blakeslee, J. Cryst. Growth 32, 265 (1976).
3. S. C. Jain, H. J. Osten, B. Dietrich, and H. Rücker, Semicond. Sci. Technol. 10, 1289 (1995).
4. K. Eberl, S. S. Iyer, S. Zollner, J. C. Tsang, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 60, 3033 (1992).
5. H. J. Osten, E. Bugiel, and P. Zaumseil, Appl. Phys. Lett. 64, 3440 (1994).
6. J. Mi, P. Warren, P. Letourneau, M. Judelewicz, M. Gailhanou, and M. Dutoit, Appl. Phys. Lett. 67, 259 (1995).
7. K. Eberl, S. S. Iyer, J. C. Tsang, M. S. Goorsky, and F. K. LeGoues, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 934 (1992).
8. A. R. Powell, K. Eberl, F. E. LeGoues, B. A. Ek, and S. S. Iyer, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1064 (1992).
9. A. R. Powell, F. E. LeGoues, and S. S. Iyer, Appl. Phys. Lett. 64, 324 (1994).
10. J. W. Strane, H. J. Stein, S. R. Lee, S. T. Picraux, and J. W. Mayer, J. Appl. Phys. 76, 3656 (1994).
11. G. G. Fischer, P. Zaumseil, E. Bugiel, and H. J. Osten, J. Appl. Phys. 77, 1934 (1995).
12. H. J. Osten, D. Endisch, E. Bugiel, B. Dietrich, G. G. Fischer, M. Kim, D. Krüger, and P. Zaumseil, Semicond. Sci. Technol. 11, 1678 (1996).
13. A. R. Powell, K. Eberl, B. A. Ek, and S. S. Iyer, J. Cryst. Growth 127, 425 (1993).
14. J. W. Strane, S. T. Picraux, H. J. Stein, S. R. Lee, J. Candelaria, D. Theodore, and J. W. Mayer, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 321, 467 (1994).
15. P. Warren, J. Mi, F. Overney, and M. Dutoit, J. Cryst. Growth 157, 414 (1995).
16. K. Brunner, K. Eberl, W. Winter, and E. Bugiel, Appl. Surf. Sci. 102, 17 (1996).
17. K. Brunner, K. Eberl, and W. Winter, Materials Research Society Symposium Proceedings, Fall Meeting, Boston, 1995.
18. G. Hettich, H. Mehrer, and K. Maler, Inst. Phys. Conf. Ser. 46, 500 (1979).
19. A. Iida and K. Kohra, Phys. Status Solidi A 51, 533 (1979).
20. P. Zaumseil and U. Winter, Phys. Status Solidi A 70, 497 (1982).
21. P. Zaumseil, Phys. Status Solidi A 140, 421 (1993).
22. P. Zaumseil, U. Jagdhold, and D. Krüger. J. Appl. Phys. 76, 2191 (1994).
23. R. N. Kyutt, P. V. Petrashen, L. M. Sorokin, Phys. Status Solidi A 60, 381 (1980).
24. M. S. Goorsky, S. S. Iyer, K. Eberl, F. K. LeGoues, J. Angilello, and F. Cardone, Appl. Phys. Lett. 60, 2758 (1992).
25. J. Crank, The Mathematics of Diffusion (Clarendon, Oxford, 1975).
26. B. Holländer, R. Butz, and S. Mantl, Phys. Rev. B 46, 6975 (1992).
27. S. M. Prokes and K. L. Wang, Appl. Phys. Lett. 56, 2628 (1990).
28. B. Dietrich, H. J. Osten, H. Rücker, M. Methfessel, and P. Zaumseil, Phys. Rev. B 49, 17185 (1994).