Improvement of electrical properties of epitaxial SrTiO3 films on Si(001)-2 × 1 by in situ annealing

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 6, 1999, Pages 3213-3217

  Tambo, T ^a   Maeda, K ^a   Shimizu, A ^a   Tatsuyama, C ^a  

^a UNIVERSITY OF TOYAMA   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001222636     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371192     Document Type: Article

References (18)

1. J. A. Linz, Phys. Rev. 91, 753 (1953).
2. H. Ishiwara, N. Tuji, H. Mori and H. Nohira, Appl. Phys. Lett. 61, 1459 (1992).
3. S. Yamamichi, T. Sakuma, K. Takemura, and Y. Misaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 30, 293 (1991).
4. C. S. Hwang, S. O. Park, C. S. Kang, H. J. Cho, H. K. Kang, S. T. Ahn, and M. Y. Lee, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 5178 (1995).
5. M. Itsumi, S. Ohfuji, and H. Akiya, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 4963 (1996).
6. M. H. Yeh, K. S. Liu, and I. N. Lin, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 2247 (1995).
7. T. Hirano, T. Fujii, K. Fujino, K. Sakuta, and T. Kobayashi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 31, L511 (1992).
8. P. Tejedor, V. M. Fuenzalida, and F. Briones, J. Appl. Phys. 80, 2799 (1996).
9. S. Otani, M. Kimura, and N. Sasaki, Appl. Phys. Lett. 63, 1889 (1993).
10. O. Nakagawara, M. Kobayashi, Y. Yoshino, Y. Katayama, H. Tabata, and T. Kawai, J. Appl. Phys. 78, 7226 (1995).
11. P. C. Joshi and S. B. Krupanidhi, Appl. Phys. Lett. 61, 1525 (1992).
12. P. C. Joshi and S. B. Krupanidhi, J. Appl. Phys. 73, 7627 (1993).
13. H. Mori and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L1415 (1991).
14. B. K. Moon and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 1472 (1994).
15. C. S. Kang, C. S. Hwang, H. J. Cho, B. T. Lee, S. O. Park, J. W. Kim, H. Horii, S. I. Lee, Y. B. Koh, and M. Y. Lee, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 4890 (1996).
16. S. H. Nam and H. G. Kim, J. Appl. Phys. 72, 2895 (1992).
17. T. Tambo, T. Nakamura, K. Maeda, H. Ueba, and C. Tatsuyama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4454 (1998).
18. M. Hiratani, Y. Tarutani, T. Fukuzawa, M. Okamoto, and K. Takagi, Thin Solid Films 227, 100 (1993).