A study on Au/Ni/Au/Ge/Pd ohmic contact and its application to AlGaAs/GaAs heterojunction bipolar transistors

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 13, 1997, Pages 1854-1856

  Kim, Il Ho ^a   Park, Sung Ho ^a   Lee, Tae Woo ^a   Park, Moon Pyung ^a  

^a Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001084739     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.119421     Document Type: Article

References (11)

1. M. W. Cole, W. Y. Han, L. M. Casas, D. W. Eckart, and K. A. Jones, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1904 (1994).
2. P. H. Hao, L. C. Wang, Fei Deng, S. S. Lau, and J. Y. Cheng, J. Appl. Phys. 79, 4211 (1996).
3. J. Tsuchimoto, S. Shikata, and H. Hayashi, J. Appl. Phys. 69, 6556 (1991).
4. P. H. Hao, L. C. Wang, and B. J. Wu, Electron. Lett. 31, 1106 (1995).
5. H. Fathollahnejad, R. Rajesh, J. Liu, R. Droopad, G. N. Maracas, and R. W. Carpenter, J. Electron. Mater. 24, 35 (1995).
6. L. C. Wang, S. S. Lau, E. K. Hsieh, and J. R. Velebir, Appl. Phys. Lett. 54, 2677 (1989).
7. E. D. Marshall, W. X. Chen, C. S. Wu, S. S. Lau, and T. F. Keuch, Appl. Phys. Lett. 48, 535 (1985).
8. W. L. Chen, J. C. Cowles, G. I. Haddad, G. O. Munns, K. W. Eisenbeiser, and J. R. East, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2354 (1992).
9. J. O. Jeong, H. Y. Lee, T. W. Lee, M. P. Park, S. H. Park, and K. E. Pyun, J. Korean Phys. Soc. 29, 526 (1996).
10. nd International Symposium on Compound Semiconductors, 1995, p. 295.
11. J. H. Lee, H. S. Yoon, B. S. Park, C. S. Park, S. S. Choi, and K. E. Pyun, ETRI J. 18, 171 (1996).