The influence of "starving plasma" regime on carbon content and bonds in a-Si1-xCx:H thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 5, 1998, Pages 2371-2379

  Pereyra, I ^a   Carreno M N P ^a   Tabacniks, M H ^a   Prado, R J ^a   Fantini, M C A ^a  

^a UNIVERSITY OF SÃO PAULO   (Brazil)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000973862     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368436     Document Type: Article

References (27)

1. D. A. Anderson and W. E, Spear, Philos. Mag. 35, 1 (1976).
2. R. S. Sussmann and R. Odgen, Philos. Mag. B 44, 137 (1981).
3. J. Bullot and M. P. Schmidt, Phys. Status Solidi B 143, 345 (1987).
4. K. Mui, D. K. Basa, F. W. Smith, and R. Corderman, Phys. Rev. B 35, 8089 (1987).
5. J. S. Rigden, C. D. Algar, R. J. Newport, A. N. North, F. Ibrahim, and J. I. B. Wilson, J. Non-Cryst. Solids 190, 276 (1995).
6. Y. Tawada, M. Kondo, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, XV IEEE Photov. Spec. Conference, New York, 1981 (unpublished), p. 245.
7. M. P. Carreño, I. Pereyra, and A. M. Andrade, Surface Science-Lectures on Basic Concepts and Applications, edited by F. A. Ponce and M. Cardona (Springer, New York, 1992), p. 387.
8. K. Mui, D. K. Basa, F. W. Smith, and R. Corderman, Phys. Rev. B 35, 8089 (1987).
9. J. Robertson, Philos. Mag. B 66, 615 (1992).
10. F. Evangelist, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 1009 (1993).
11. V. Mastelaro, A. M. Flank, M. C. A. Fantini, D. R. S. Bittencourt, M. N. P. Carreño, and I. Pereyra, J. Appl. Phys. 79, 1324 (1996).
12. M. P. Schmidt, I. Solomon, H. Tran-Quoc, and J. Bullot, J. Non-Cryst. Solids 77/78, 849 (1985).
13. I. Solomon, M. P. Schmidt, and H. Tran-Quoc, Phys. Rev. B 38, 9895 (1988).
14. R. A. C. M. M. van Swaaij, A. J. M. Berntsen, W. G. J. H. M. van Sark, H. Herremans, J. Bezemer, and W. F. van der Weg, J. Appl. Phys. 76, 251 (1994).
15. F. Alvarez and L. R. Tessler, Solid State Phenom. 44-46, 3 (1995).
16. L. R. Tessler and I. Solomon, Phys. Rev. B 52, 10962 (1995).
17. I. Pereyra and M. N. P. Carreño, J. Non-Cryst. Solids 201, 110 (1996).
18. R. K. Onmori, I. Pereyra, C. Sassaki, and M. N. P. Carreño, Proceedings of the 9th European Photov. Solar Energy Conference, edited by W. Palz, G. T. Wrixon, and P. Helm (Kluwer, Dordrecht, 1989), p. 33.
19. M. N. P. Carreño, I. Pereyra, M. C. A. Fantini, H. Takahashi, and R. Landers, J. Appl. Phys. 75, 538 (1994).
20. UDAC (Ultra Dense Amorphous Carbon), supplied by Kao Co. Akabane 2606, Ichikaimachi, Haga, Tochigi, Japan 321-34.
21. J. E. E. Baglin, A. K. Kellock, M. A. Crockett, and A. H. Shih, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 64, 469 (1992).
22. R. J. Prado, D. R. S. Bittencourt, M. H. Tabacniks, M. C. A. Fantini, M. N. P. Carreño, and I. Pereyra, J. Appl. Crystallogr. 30, 659 (1997).
23. I. Solomon and L. R. Tessler, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 336, 505 (1994).
24. M. Takada, Y. Iwata, F. Fujimoto, K. Komaki, K. Kobayashi, H. Yamashita, and M. Haba, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 45, 223 (1990).
25. A. A. Langford, M. L. Fleet, B. P. Nelson, W. A. Lanford, and N. Maley Phys. Rev. B 45, 13367 (1992).
26. E. Gat, M. A. EI Khakani, M. Chaker, A. Jean, S. Boily, H. Pépin, J. C. Kieffer, J. Durand, B. Cros, F. Rousseaux, and S. Gujrathi, J. Mater. Res. 7, 2478 (1992).
27. C. A. Villacorta and I. Pereyra, J. Phys. A 27, 612 (1997).