-
3
-
-
0000367043
-
-
M. Lawrence, A. Dass, D. B. Fraser, and C. W. Wei, Appl. Phys. Lett. 58, 1308 (1991).
-
(1991)
Appl. Phys. Lett.
, vol.58
, pp. 1308
-
-
Lawrence, M.1
Dass, A.2
Fraser, D.B.3
Wei, C.W.4
-
4
-
-
0348034814
-
-
summerschool on silicides, Erice
-
S.-L. Zhang and F. M. d'Heurle, summerschool on silicides, Erice (1999).
-
(1999)
-
-
Zhang, S.-L.1
D'Heurle, F.M.2
-
7
-
-
0000795526
-
-
G. B. Kim, J. S. Kwak, H. K. Baik, and S. M. Lee, J. Appl. Phys. 85, 1503 (1999).
-
(1999)
J. Appl. Phys.
, vol.85
, pp. 1503
-
-
Kim, G.B.1
Kwak, J.S.2
Baik, H.K.3
Lee, S.M.4
-
8
-
-
0001556983
-
-
C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, R. A. Donaton, and K. Maex, Appl. Phys. Lett. 74, 2930 (1999).
-
(1999)
Appl. Phys. Lett.
, vol.74
, pp. 2930
-
-
Detavernier, C.1
Van Meirhaeghe, R.L.2
Cardon, F.3
Donaton, R.A.4
Maex, K.5
-
9
-
-
0034156209
-
-
C. Detavernier, R. De Gryse, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, G.-P. Ru, X.-P. Qu, B.-Z. Li, R. A. Donaton, and K. Maex, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 470 (2000).
-
(2000)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.18
, pp. 470
-
-
Detavernier, C.1
De Gryse, R.2
Van Meirhaeghe, R.L.3
Cardon, F.4
Ru, G.-P.5
Qu, X.-P.6
Li, B.-Z.7
Donaton, R.A.8
Maex, K.9
-
10
-
-
0033639750
-
-
C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, R. A. Donaton, and K. Maex, Microelectron. Eng. 50, 125 (2000).
-
(2000)
Microelectron. Eng.
, vol.50
, pp. 125
-
-
Detavernier, C.1
Van Meirhaeghe, R.L.2
Cardon, F.3
Donaton, R.A.4
Maex, K.5
-
11
-
-
0001247286
-
-
C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, K. Maex, W. Vandervorst, B. Brijs, and F. Cardon, Appl. Phys. Lett. 77, 3170 (2000).
-
(2000)
Appl. Phys. Lett.
, vol.77
, pp. 3170
-
-
Detavernier, C.1
Van Meirhaeghe, R.L.2
Maex, K.3
Vandervorst, W.4
Brijs, B.5
Cardon, F.6
-
12
-
-
0034312822
-
-
C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, and K. Maex, Phys. Rev. B 62, 12045 (2000).
-
(2000)
Phys. Rev. B
, vol.62
, pp. 12045
-
-
Detavernier, C.1
Van Meirhaeghe, R.L.2
Cardon, F.3
Maex, K.4
-
14
-
-
0000650287
-
-
A. Vantomme, S. Degroote, J. Dekoster, G. Langouche, and R. Pretorius, Appl. Phys. Lett. 74, 3137 (1999).
-
(1999)
Appl. Phys. Lett.
, vol.74
, pp. 3137
-
-
Vantomme, A.1
Degroote, S.2
Dekoster, J.3
Langouche, G.4
Pretorius, R.5
-
17
-
-
0001346262
-
-
J. S. Kwak, E. J. Chi, J. D. Choi, S. W. Park, H. K. Baik, M. G. So, and S. M. Lee, J. Appl. Phys. 78, 983 (1995).
-
(1995)
J. Appl. Phys.
, vol.78
, pp. 983
-
-
Kwak, J.S.1
Chi, E.J.2
Choi, J.D.3
Park, S.W.4
Baik, H.K.5
So, M.G.6
Lee, S.M.7
-
18
-
-
0017906684
-
-
A. Guivarc'h, P. Auvray, L. Berthou, M. Le Cun, J. P. Boulet, P. Henoc, G. Pelous, and A. Martinez, J. Appl. Phys. 49, 233 (1978).
-
(1978)
J. Appl. Phys.
, vol.49
, pp. 233
-
-
Guivarc'h, A.1
Auvray, P.2
Berthou, L.3
Le Cun, M.4
Boulet, J.P.5
Henoc, P.6
Pelous, G.7
Martinez, A.8
|