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Volumn 58, Issue 17, 1991, Pages 1845-1847

Stress in metal lines under passivation; comparison of experiment with finite element calculations

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EID: 0000881016     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.105075     Document Type: Article
Times cited : (96)

References (15)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.