Infrared studies of silicon oxide formation in silicon wafers implanted with oxygen

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 22, 1998, Pages 2853-2855

  Ono, Haruhiko ^a   Ikarashi, Taeko ^a   Ogura, Atsushi ^a  

^a NEC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000812662     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121479     Document Type: Article

References (18)

1. A. Ogura, Electrochemical Society Proceedings, Vol. 97-23, 1997, p. 57.
2. A. Ogura, T. Tatsumi, T. Hamajima, and H. Kikuchi, Appl. Phys. Lett. 69, 1367 (1996).
3. K. Kajiyama, T. Yoneda, Y. Fujioka, and Y. Kido, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 315 (1997).
4. E. F. Steigmeier, G. Harbeke, K. J. Reeson, P. L. F. Hemment, and A. K. Robinson, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 37/38, 304 (1989).
5. W. Bensch and W. Bergholz, Semicond. Sci. Technol. 5, 421 (1990).
6. I. W. Boyd and J. I. B. Wilson, J. Appl. Phys. 62, 3195 (1987).
7. G. Lucovsky, M. J. Manitini, J. K. Srivastava, and E. A. Irene, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 530 (1987).
8. M. Nakamura, Y. Mochizuki, K. Usami, Y. Itoh, and T. Nozaki, Solid State Commun. 50, 1079 (1984).
9. G. Lucovsky, S. Y. Lin, P. D. Richard, S. S. Chao, Y. Takagi, P. Pai, J. E. Keem, and J. E. Tyler, J. Non-Cryst. Solids 75, 429 (1985).
10. P. G. Pai, S. S. Chao, Y. Takagi, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 689 (1986).
11. K. Sato, J. Electrochem. Soc. 117, 1065 (1970).
12. A. Perez-Rodriguez, A. Romano-Rodriguez, J. Macia, J. R. Morante, E. Martin, and J. Jimenez, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 84, 275 (1994).
13. A. Perez, J. Samitier, A. Cornet, J. R. Morante, P. L. F. Hemment, and K. P. Homewood, Appl. Phys. Lett. 57, 2443 (1990).
14. L. Diantong, Z. Lirong, W. Zhonglie, and P. L. F. Hemment, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 55, 705 (1991).
15. C. Dominguez, B. Garrido, J. Montserrat, J. R. Morante, and J. Samitier, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 80/81, 1367 (1993).
16. Y. Li, J. A. Kilner, P. L. F. Hemment, A. K. Robinson, J. P. Zhang, K. J. Reeson, C. D. Marsh, and G. R. Booker, Appl. Phys. Lett. 59, 3130 (1991).
17. S. Nakashima and K. Izumi, J. Mater. Res. 8, 523 (1993).
18. P. J. McMarr, B. J. Mrstik, M. S. Barger, G. Bowden, and J. R. Blanco, J. Appl. Phys. 67, 7211 (1990).