Characterization of vapor phase deposited organic molecules on silicon surfaces

Fresenius' Journal of Analytical Chemistry

Volumn 358, Issue 1-2, 1997, Pages 258-262

  Dieckhoff, S ^a   Hoper R ^b   Schlett, V ^a   Possart, W ^c   Hennemann, O D ^a   Gunster J ^d   Kempter, V ^d   Gesang, T ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MANUFACTURING TECHNOLOGY AND ADVANCED MATERIALS IFAM   (Germany)

^b UNIVERSITY OF BREMEN   (Germany)

^c SAARLAND UNIVERSITY   (Germany)

^d CLAUSTHAL UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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EID: 0000767818     PISSN: 09370633     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s002160050400     Document Type: Article

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