Oxygen-induced amorphous structure of tungsten thin films

Applied Physics Letters

Volumn 75, Issue 15, 1999, Pages 2211-2213

  Shen, Y G ^a   Mai, Y W ^a   McBride, W E ^a   McKenzie, D R ^a   Zhang, Q C ^a  

^a UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000705796     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.124967     Document Type: Article

References (23)

1. P. Petroff, T. T. Sheng, A. K. Sinha, G. A. Rozgonyi, and F. B. Alexander, J. Appl. Phys. 44, 2545 (1973).
2. A. Bensaoula, J. C. Wolfe, A. Ignatiev, F. O. Fond, and T. S. Leung, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 389 (1984).
3. A. M. Haghiri-Gosnet, F. R. Ladan, C. Mayeux, and H. Launois, Appl. Surf. Sci. 38, 295 (1989).
4. H. S. Witham, P. Chindandom, I. An, R. W. Collins, R. Messier, and K. Vedam, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1881 (1993).
5. A. Bosseboeuf, M. Dupeux, M. Boutry, T. Bourouina, D. Bouchier, and D. Debarre, Microsc. Microanal. Microstruct. 8, 261 (1997).
6. S. Basavaiah and S. R. Pollack, J. Appl. Phys. 39, 5548 (1968).
7. M. S. Aouadi, R. R. Parsons, P. C. Wong, and K. A. R. Mitchell, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 273 (1992).
8. M. Arita and I. Nishida, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 1759 (1993).
9. I. A. Weerasekera, S. I. Shah, D. V. Baxter, and K. M. Unruh, Appl. Phys. Lett. 64, 3231 (1994).
10. F. M. Ross, R. R. Kola, R. Hull, and J. C. Bean, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 318, 697 (1994).
11. K. L. Chopra, M. R. Randlett, and R. H. Duff, Appl. Phys. Lett. 9, 402 (1966).
12. W. Y. Lee, J. Appl. Phys. 62, 4366 (1971).
13. A. M. Haghiri-Gosnet, F. R. Ladan, C. Mayeux, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2663 (1989).
14. M. C. Hugon, F. Vamiese, B. Aqius, M. Froment, C. Arena, and J. Bessot, Appl. Surf. Sci. 38, 269 (1989).
15. P. Collot, B. Agiuo, P. Estrache, M. C. Hugon, M. Froment, J. Bessot, and Y. Crassin, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2319 (1988).
16. R. F. Egerton, Electron Energy Loss Spectroscopy in the Electron Microscope, 2nd ed. (Plenum, New York, 1996).
17. S. Hashimoto and H. Matsuoka, J. Appl. Phys. 69, 933 (1991).
18. D. J. H. Cockayne, D. R. McKenzie, and D. A. Muller, Microsc. Microanal. Microstruct. 2, 359 (1991).
19. D. R. McKenzie, D. A. Muller, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. Lett. 67, 773 (1991).
20. J. D. Bernal, Nature (London) 185, 68 (1960); Proc. R. Soc. London, Ser. A 280, 299 (1964).
21. J. D. Bernal, Nature (London) 185, 68 (1960); Proc. R. Soc. London, Ser. A 280, 299 (1964).
22. D. C. Green, Ph.D. thesis, University of Sydney (1991).
23. Y. G. Shen, J. Yao, D. J. O'Connor, B. V. King, and R. J. MacDonald, Phys. Rev. 356, 9894 (1997).