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Volumn 80, Issue 6, 1996, Pages 3202-3207

Detection of particles in rf silane plasmas using photoemission method

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EID: 0000613904     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.363273     Document Type: Article
Times cited : (48)

References (27)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.