The elimination of surface cross-hatch from relaxed, limited-area Si1-xGex buffer layers

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 17, 1997, Pages 2517-2519

  Hammond, R ^a   Phillips, P J ^a   Whall, T E ^a   Parker, E H C ^a   Graf, T ^b   Von Kanel H ^b   Shields, A J ^c  

^a UNIVERSITY OF WARWICK   (United Kingdom)

^b ETH ZURICH   (Switzerland)

^c TOSHIBA CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000382406     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120105     Document Type: Article

References (13)

1. F. K. Legoues, B. S. Meyerson, J. F. Morar, and P. D. Kirchner, J. Appl. Phys. 71, 4230 (1992).
2. K. Ismail, M. Arafa, K. L. Saenger, J. O. Chu, and B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 66, 1077 (1995).
3. S. F. Nelson, K. Ismail, J. O. Chu, and B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 63, 367 (1993).
4. J. W. P. Hsu, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, P. J. Silverman, and M. J. Cardillo, Appl. Phys. Lett. 61, 1293 (1992).
5. S. Y. Shiryaev, F. Jensen, and J. W. Petersen, Appl. Phys. Lett. 64, 3305 (1994).
6. E. A. Fitzgerald, G. P. Watson, R. E. Proano, D. G. Ast. P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Woodall, J. Appl. Phys. 65, 2220 (1989).
7. A. R. Powell, R. A. Kubiak, T. E. Whall, E. H. C. Parker, and D. K. Bowen, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 220, 277 (1991).
8. A. Nishida, K. Nakagawa, E. Murakami, and M. Miyao, J. Appl. Phys. 71, 5913 (1992).
9. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, F. K. LeGoues, P. M. Mooney, and J. O. Chu, Appl. Phys. Lett. 66, 724 (1995).
10. B. Dietrich, E. Bugiel, J. Klatt, G. Lippert, T. Mozenstern, H. J. Osten, and P. Zaumseil, J. Appl. Phys. 74, 3177 (1993).
11. B. Dietrich, E. Bugiel, H. J. Osten, and P. Zaumseil, J. Appl. Phys. 74, 7223 (1993).
12. T. Rupp, I. Eisele, and D. Gravesteijn, Appl. Surf. Sci. 102, 385 (1996).
13. P. J. King, M. B. H. Breese, P. J. M. Smulders, A. J. Wilkinson, G. R. Booker, E. H. C. Parker, and G. W. Grime, Appl. Phys. Lett. 67, 3566 (1995).