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Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 5, 2000, Pages 3022-3028

Analyses of edge effects on residual stresses in film strip/substrate systems

(1) Hsueh, Chun Hway a

a OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY (United States)

Author keywords

DISTRIBUTION FUNCTIONS; FINITE ELEMENT METHOD; GERMANIUM SILICIDES; RESIDUAL STRESSES; SILICON; SUBSTRATES; THIN FILMS

Indexed keywords

ANALYTICAL MODELS; RESIDUAL STRESSES; STRESS CONCENTRATION;

ANALYTICAL RESULTS; CLOSED FORM SOLUTIONS; EDGE EFFECT; STRESS VARIATIONS; SUBSTRATE THICKNESS;

THIN FILMS;

EID: 0000208230 PISSN: 00218979 EISSN: 10897550 Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.1288161 Document Type: Article

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.