Properties of ultra-thin lead zirconate titanate thin films prepared by ozone jet reactive evaporation

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 6, 1997, Pages 2755-2759

  Torii, Kazuyoshi ^a   Kawakami, Hirosi ^a   Miki, Hiroshi ^a   Kushida, Keiko ^a   Fujisaki, Yoshihisa ^a  

^a HITACHI LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000171660     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.363980     Document Type: Article

References (18)

1. K. Koyama, T. Sakuma, S. Yamamichi, H. Watanabe, H. Aoki, S. Ohya, Y. Miyasaka, and T. Kikkawa, IEDM Tech. Digest 823 (1991).
2. E. Fujii, Y. Uemoto, S. Hayashi, T. Nasu, Y. Shimada, A. Mastuda, M. Kibe, M. Azuma, T. Otsuki, G. Kano, M. Scott, L. D. McMillan, and C. A. Paz de Araujo, IEDM Tech. Digest 267 (1992).
3. Y. Ohno, T. Horikawa, H. Shinkawata, K. Kashihara, T. Kuroiwa, T. Okudaira, Y. Hashizume, K. Fukumoto, T. Eimori, T. Shibano, K. Arimoto, H. Itoh, T. Nishimura, and H. Miyoshi, 1994 Symposium on VLSI Technological Digest of Technology Papers 149 (1994).
4. S. O. Park, C. S. Hwang, H.-J. Cho, C. S. Rang, H.-K. Kang, S. I. Lee, and M. Y. Lee, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 1548 (1996).
5. T. Kuroiwa, Y. Tsunemine, T. Horikawa, T. Makita, J. Tanimura, N. Mikami, and K. Sato, J. Appl. Phys. 33, 5187 (1994).
6. S. Yamamichi, P.-Y. Lesaicherre, H. Yamaguchi, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, K. Sato, T. Tamura, K. Nakajima, S. Ohnishi, K. Tokashiki, Y. Hayashi, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, and H. Ono, IEDM Tech. Digest 119 (1995).
7. Y. Yuuki, M. Yamamuka, T. Makita, T. Horikawa, T. Shibano, N. Hirano, H. Maeda, N. Mikami, K. Ono, H. Ogata, and H. Abe, IEDM Tech. Digest 115 (1995).
8. G. Shirane and K. Suzuki, J. Phys. Soc. Jpn. 7, 333 (1952).
9. G. Shirane and S. Hoshino, J. Phys. Soc. Jpn. 6, 265 (1951).
10. P. K. Larsen, G. J. Dormans, D. J. Taylor, and P. J. van Veldhoven, J. Appl. Phys. 76, 2405 (1994).
11. A. K. Tagantsev, C. Z. Pawlaczyk, K. Brooks, and N. Setter, Int. Ferroelectrics 4, 1 (1994).
12. N. I. Lebedev and A. S. Sigov, Int. Ferroelectrics 4, 21 (1994).
13. X. Chen, A. I. Kingon, K. Bellur, and O. Auciello, Int. Ferroelectrics 5, 59 (1994).
14. Y. Fujisaki, K. Torii, M. Hiratani, and K. Kushida (unpublished).
15. W. L. Warren, D. Dimos, B. A. Tuttle, R. D. Nasby, and G. E. Pike, Appl. Phys. Lett. 65, 1018 (1994).
16. T. Mihara, H. Watanabe, and C. A. Paz de Araujo, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 5281 (1994).
17. T. Nakamura, Y. Nakano, A. Kamisawa, and H. Takasu, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 5207 (1994).
18. H. N. Al Shareef, B. A. Tuttle, W. L. Warren, T. J. Headley, D. Dimos, J. A. Voigt, and R. D. Nasby, J. Appl. Phys. 79, 1013 (1996).