-
6
-
-
5844345721
-
-
Reichmanis, E., MacDonald, S. A., Iwayanagi, T., Eds.; American Chemical Society: Washington, DC
-
(c) Masuhara, H.; Itaya, A.; Fukumura, H. In Polymers in Microlithography; Reichmanis, E., MacDonald, S. A., Iwayanagi, T., Eds.; American Chemical Society: Washington, DC, 1989.
-
(1989)
Polymers in Microlithography
-
-
Masuhara, H.1
Itaya, A.2
Fukumura, H.3
-
8
-
-
0001538710
-
-
(b) Hare, D. E.; Franken, J.; Dlott, D. D. J. Appl. Phys. 1995, 77, 5950.
-
(1995)
J. Appl. Phys.
, vol.77
, pp. 5950
-
-
Hare, D.E.1
Franken, J.2
Dlott, D.D.3
-
10
-
-
0000600179
-
-
(b) Fukumura, H.; Takahashi, E.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. 1995, 99, 750.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.99
, pp. 750
-
-
Fukumura, H.1
Takahashi, E.2
Masuhara, H.3
-
11
-
-
0000290544
-
-
(c) Fujiwara, H.; Nakajima, Y.; Fukumura, H.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. 1995, 99, 11481.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.99
, pp. 11481
-
-
-
12
-
-
0001392690
-
-
(d) Fujiwara, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H.; J. Phys. Chem. 1995, 99, 11844.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.99
, pp. 11844
-
-
Fujiwara, H.1
Fukumura, H.2
Masuhara, H.3
-
14
-
-
0026117201
-
-
(b) Frisoli, J. K.; Hefetz, Y.; Deutsch, T. F. Appl. Phys. 1991, B52, 168.
-
(1991)
Appl. Phys.
, vol.B52
, pp. 168
-
-
Frisoli, J.K.1
Hefetz, Y.2
Deutsch, T.F.3
-
15
-
-
36449004572
-
-
(c) Fujiwara, H.; Hayashi, T.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 2451.
-
(1994)
Appl. Phys. Lett.
, vol.64
, pp. 2451
-
-
Fujiwara, H.1
Hayashi, T.2
Fukumura, H.3
Masuhara, H.4
-
16
-
-
0001005811
-
-
(a) Wen, X.; Tolbert, W. A.; Dlott, D. D. Chem. Phys. Lett. 1992, 192, 315.
-
(1992)
Chem. Phys. Lett.
, vol.192
, pp. 315
-
-
Wen, X.1
Tolbert, W.A.2
Dlott, D.D.3
-
17
-
-
0000197218
-
-
(b) Lee, I.-Y. S.; Wen, X.; Tolbert, W. A.; Dlott, D. D. J. Appl. Phys. 1992, 72, 2440.
-
(1992)
J. Appl. Phys.
, vol.72
, pp. 2440
-
-
Lee, I.-Y.S.1
Wen, X.2
Tolbert, W.A.3
Dlott, D.D.4
-
18
-
-
13344270366
-
-
Lippert, T.; Koskela, A.; Stoutland, P. O. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 1551.
-
(1996)
J. Am. Chem. Soc.
, vol.118
, pp. 1551
-
-
Lippert, T.1
Koskela, A.2
Stoutland, P.O.3
-
19
-
-
0001617184
-
-
(a) Srinivasan, R.: Braren, B.; Casey, K. G.; Yeh, M. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 2790.
-
(1989)
Appl. Phys. Lett.
, vol.55
, pp. 2790
-
-
Srinivasan, R.1
Braren, B.2
Casey, K.G.3
Yeh, M.4
-
20
-
-
0001128478
-
-
(b) Srinivasan, R.; Casey, K. G.; Braren, B.; Yeh, M. J. Appl. Phys. 1990, 67, 1604.
-
(1990)
J. Appl. Phys.
, vol.67
, pp. 1604
-
-
Srinivasan, R.1
Casey, K.G.2
Braren, B.3
Yeh, M.4
-
21
-
-
36449002819
-
-
(c) Tsuboi, Y.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 2745.
-
(1994)
Appl. Phys. Lett.
, vol.64
, pp. 2745
-
-
-
25
-
-
0000270330
-
-
(b) Chen, S.; Lee, I.-Y. S.; Tolbert, W. A.; Wen, X.; Dlott, D. D. J. Phys. Chem. 1992, 96, 7178.
-
(1992)
J. Phys. Chem.
, vol.96
, pp. 7178
-
-
Chen, S.1
Lee, I.-Y.S.2
Tolbert, W.A.3
Wen, X.4
Dlott, D.D.5
-
26
-
-
0005687076
-
-
Tokmakoff, A.; Payer, M. D.; Dlott, D. D. J. Phys. Chem. 1993, 97, 1901.
-
(1993)
J. Phys. Chem.
, vol.97
, pp. 1901
-
-
Tokmakoff, A.1
Payer, M.D.2
Dlott, D.D.3
-
27
-
-
0001238143
-
-
Fukumura, H.; Mibuka, N.; Eura, S.; Masuhara, H.; Nishi, N. J. Phys. Chem. 1993, 97, 13761.
-
(1993)
J. Phys. Chem.
, vol.97
, pp. 13761
-
-
Fukumura, H.1
Mibuka, N.2
Eura, S.3
Masuhara, H.4
Nishi, N.5
-
28
-
-
0001438158
-
-
(a) Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 3413.
-
(1994)
Appl. Phys. Lett.
, vol.65
, pp. 3413
-
-
Furutani, H.1
Fukumura, H.2
Masuhara, H.3
-
29
-
-
0001461179
-
-
(b) Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. J. Phys. Chem 1996, 100, 6871.
-
(1996)
J. Phys. Chem
, vol.100
, pp. 6871
-
-
Furutani, H.1
Fukumura, H.2
Masuhara, H.3
-
30
-
-
0031558334
-
-
1st paper of the series
-
Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H.; Lippert, T.; Yabe, A. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 5742 (1st paper of the series).
-
(1997)
J. Phys. Chem. A
, vol.101
, pp. 5742
-
-
Furutani, H.1
Fukumura, H.2
Masuhara, H.3
Lippert, T.4
Yabe, A.5
-
32
-
-
0001188673
-
-
in Japanese
-
Hosoda, M.; Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H.; Nishii, M.; Ichinose, N.; Kawanishi, S. Rev. Laser Eng. 1997, 25, 306 (in Japanese).
-
(1997)
Rev. Laser Eng.
, vol.25
, pp. 306
-
-
Hosoda, M.1
Furutani, H.2
Fukumura, H.3
Masuhara, H.4
Nishii, M.5
Ichinose, N.6
Kawanishi, S.7
-
33
-
-
0001799759
-
-
Ichikawa, M.; Fukumura, H.; Masuhara, H.; Koide, A.; Hyakutake, H. Chem. Phys. Lett. 1995, 232, 346.
-
(1995)
Chem. Phys. Lett.
, vol.232
, pp. 346
-
-
Ichikawa, M.1
Fukumura, H.2
Masuhara, H.3
Koide, A.4
Hyakutake, H.5
-
34
-
-
11644293626
-
-
Corona Pub.: Tokyo, (in Japanese)
-
Kobunshi Zairyo Binran; Corona Pub.: Tokyo, 1973 (in Japanese).
-
(1973)
Kobunshi Zairyo Binran
-
-
-
38
-
-
0001075946
-
-
Ben-Eliahn, Y.; Haas, Y.; Welner, S. J. Phys. Chem. 1995, 97, 6010.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.97
, pp. 6010
-
-
Ben-Eliahn, Y.1
Haas, Y.2
Welner, S.3
-
39
-
-
11644252673
-
-
Bennett, L. S.; Lippert, T.; Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. A 1996, 63, 627.
-
(1996)
Appl. Phys. A
, vol.63
, pp. 627
-
-
Bennett, L.S.1
Lippert, T.2
Furutani, H.3
Fukumura, H.4
Masuhara, H.5
|