Graded electron affinity electron source

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 14, Issue 3, 1996, Pages 2072-2079

  Shaw, J L ^a   Gray, H F ^a   Jensen, K L ^a   Jung, T M ^a  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000005719     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.588988     Document Type: Article

References (26)

1. C. O. Bozler, C. T. Harris, S. Rabe, D. D. Rathman, and M. A. Hollis, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 629 (1994).
2. H. F. Gray, J. L. Shaw, and D. Temple, IVMC Technical Digest, 1995 (unpublished), p. 27; D. Temple, C. A. Ball, W. D. Palmer, L. N. Yadon, D. Vellenga, J. Mancusi, G. E. McGuire, and H. F. Gray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 150 (1995).
3. H. F. Gray, J. L. Shaw, and D. Temple, IVMC Technical Digest, 1995 (unpublished), p. 27; D. Temple, C. A. Ball, W. D. Palmer, L. N. Yadon, D. Vellenga, J. Mancusi, G. E. McGuire, and H. F. Gray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 150 (1995).
4. C. A. Spindt, C. E. Holland, A. Rosengreen, and I. Brodie, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 468 (1993).
5. R. A. King, R. A. D. Mackenzie, G. D. W. Smith, and N. A. Cade, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 705 (1994).
6. C. Py and R. Baptist, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 685 (1994).
7. A. A. Talin, T. E. Fleter, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 448-451 (1995).
8. T. Xie, W. A. Mackie, and P. R. Davis, IVMC Technical Digest, 1995 (unpublished), p. 403.
9. P. R. Schwoebel, C. A. Spindt, and I. Brodie, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 338 (1995); P. R. Schwoebel, and C. A. Spindt, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 2414 (1994).
10. P. R. Schwoebel, C. A. Spindt, and I. Brodie, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 338 (1995); P. R. Schwoebel, and C. A. Spindt, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 2414 (1994).
11. S. Meassick, Z. Xia, C. Chen, and J. Browning, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 710 (1994).
12. W. P. Dyke, J. K. Trolan, E. E. Martin, and J. P. Barbour, Phys. Rev. B 91, 1043 (1953); W. W. Dolan, W. P. Dyke, and J. K. Trolan, ibid. 91, 1054 (1953).
13. W. P. Dyke, J. K. Trolan, E. E. Martin, and J. P. Barbour, Phys. Rev. B 91, 1043 (1953); W. W. Dolan, W. P. Dyke, and J. K. Trolan, ibid. 91, 1054 (1953).
14. M. Ancona, in Ref. 7, p. 61.
15. R. Baptist, R. Bieth, and C. Py, in Ref. 7, p. 524.
16. W. P. Rang, J. L. Davidson, M. Howell, B. Bhuva, D. L. Kinser, Q. Li, and J. F. Xu, in Ref. 7, p. 287.
17. T. Asano, T. Maruta, T. Ishikura, and S. Yamashita, in Ref. 7, p. 288.
18. M. C. Benjamin, Cheng Wang, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 64, 3288 (1994); M. C. Benjamin, Cheng Wang, R. S. Kern, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, Mater. Res. Soc. Symp Proc. 339, 81 (1994).
19. M. C. Benjamin, Cheng Wang, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 64, 3288 (1994); M. C. Benjamin, Cheng Wang, R. S. Kern, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, Mater. Res. Soc. Symp Proc. 339, 81 (1994).
20. V. Bermudez, T. M. Jung, K. Doverspike, and A. E. Wickendon, J. Appl. Phys. 79, 110 (1996).
21. X. Hunag, T. S. Cheng, S. E. Hooper, T. J. Foster, L. C. Jenkins, J. Wang, C. T. Foxon, J. W. Orton, L. Eaves, and P. C. Main, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1582 (1995).
22. S. Strite, J. Ruan, Z. Li, A. Salvador, H. Chen, David J. Smith, W. J. Choyke, H. Morkoc J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1924 (1991).
23. L. C. Jenkins, T. S. Cheng, C. T. Foxon, S. E. Hooper, J. W. Orton, S. V. Novikov, and V. V. Trer'yakov J. Vac Sci. Technol. B 13, 1585 (1995).
24. C. L. Allyn, A. C. Gosard, and W. Wiegmann, Appl. Phys. Lett. 36, 373 (1980).
25. J. L. Shaw, R. S. Silmon, D. W. Park, H. F. Gray, and A. C. Constant, in Ref. 7, p. 408.
26. S. Kitamura, K. Hiramatsu, and N. Sawaki, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 1184 (1995).