The growth and properties of Al and AIN films on GaN(0001)-(1×1)

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 1, 1996, Pages 110-119

  Bermudez, V M ^a   Jung, T M ^a   Doverspike, K ^a,b   Wickenden, A E ^a  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b HEWLETT PACKARD COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001429935     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.360917     Document Type: Article

References (75)

1. H. Morkoç, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994); S. Strite and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1237 (1992).
2. H. Morkoç, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994); S. Strite and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1237 (1992).
3. V. M. Bermudez, R. Kaplan, M. A. Khan, and J. N. Kuznia, Phys. Rev. B 48, 2436 (1993).
4. M. C. Benjamin, C. Wang, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 64, 3288 (1994).
5. K. Doverspike, L. B. Rowland, D. K. Gaskill, and J. A. Freitas, Jr., J. Electron. Mater. 24, 269 (1995).
6. M. O. Krause, Phys. Lett. A 74, 303 (1979).
7. V. M. Bermudez, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 73, 249 (1995).
8. S. Tanuma, C. J. Powell, and D. R. Penn, Surf. Interface Anal. 17, 911 (1991); 17, 927 (1991).
9. S. Tanuma, C. J. Powell, and D. R. Penn, Surf. Interface Anal. 17, 911 (1991); 17, 927 (1991).
10. C. Argile and G. E. Rhead, Surf. Sci. Rep. 10, 277 (1989).
11. D. D. Wagman, W. H. Evans, V. B. Parker, I. Halow, S. M. Bailey, and R. H. Schumm, Selected Values of Chemical Thermodynamic Properties, Natl. Bur. Stand. (U.S.) Technical Note No. 270-3 (U.S. GPO, Washington, D.C., 1968).
12. R. Hultgren, P. D. Desai, D. T. Hawkins, M. Gleiser, and K. K. Kelly, Selected Values of the Thermodynamic Properties of Binary Alloys (American Society for Metals, Metals Park, OH, 1973).
13. M. Alonso, R. Cimino, Ch. Maierhofer, Th. Chassé, W. Braun, and K. Horn, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 955 (1990).
14. S. Rossi Salmagne, H.-U. Baier, and W. Mönch, Surf. Sci. 307-309, 471 (1994): S. Rossi Salmagne and W. Mönch, Surf. Sci. 331-333, 937 (1995).
15. S. Rossi Salmagne, H.-U. Baier, and W. Mönch, Surf. Sci. 307-309, 471 (1994): S. Rossi Salmagne and W. Mönch, Surf. Sci. 331-333, 937 (1995).
16. R. Groh, G. Gerey, L. Bartha, and J. I. Pankove, Phys. Status Solidi A 26, 353 (1974).
17. C. J. Sun, P. Kung, A. Saxler, H. Ohsato, E. Bigan, M. Razeghi, and D. K. Gaskill, J. Appl. Phys. 76, 236 (1994).
18. W. B. Carter and M. V. Papageorge, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 3460 (1992).
19. J. N. Russell, Jr., V. M. Bermudez, and A. Leming (unpublished).
20. R. Shinar, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 137 (1992).
21. H. H. Madden and D. W. Goodman, Surf. Sci. 150, 39 (1985).
22. N. Lieske and R. Hezel, J. Appl. Phys. 52, 5806 (1981).
23. R. Payling, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 36, 99 (1985). The sensitivities given in this reference are for a 5 keV primary beam. The procedure described was followed to obtain values for a 3 keV beam energy.
24. R. Vanden Berghe and R. Vlaeminck, Surf. Interface Anal. 10, 316 (1987).
25. Z. Sitar, M. J. Paisley, B. Yan, J. Ruan, W. J. Choyke, and R. F. Davis, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 316 (1990).
26. S. Yoshida, S. Misawa, and S. Gonda, J. Appl. Phys. 53, 6844 (1982).
27. J. A. Kovacich, J. Kasperkiewicz, D. Lichtman, and C. R. Aita, J. Appl. Phys. 55, 2935 (1984).
28. A. R. Chourasia, D. R. Chopra, and T. K. Hatwar, Surf. Sci. Spectra 1, 75 (1992).
29. V. Gräfe, W. Niessner, D. Schalch, A. Scharmann, and C. Wiese, Phys. Status Solidi A 145, 527 (1994); W. Gräfe, H. Reinhardt, D. Schalch, and A. Scharmann, Phys. Status Solidi A 136, K105 (1993).
30. V. Gräfe, W. Niessner, D. Schalch, A. Scharmann, and C. Wiese, Phys. Status Solidi A 145, 527 (1994); W. Gräfe, H. Reinhardt, D. Schalch, and A. Scharmann, Phys. Status Solidi A 136, K105 (1993).
31. F. Malengreau, V. Hautier, M. Vermeersch, R. Sporken, and R. Caudano, Surf. Sci. 330, 75 (1995).
32. J. A. Taylor and J. W. Rabalais, J. Chem. Phys. 75, 1735 (1981).
33. M. Gautier, S. P. Duraud, and C. LeGressus, J. Appl. Phys. 61, 574 (1987); Surf. Sci. 178, 201 (1986).
34. M. Gautier, S. P. Duraud, and C. LeGressus, J. Appl. Phys. 61, 574 (1987); Surf. Sci. 178, 201 (1986).
35. P. M. Raole, P. D. Prabhawalkar, D. C. Kothari, P. S. Pawar, and S. V. Gogawale, Nucl. Instrum. Methods B 23, 329 (1987).
36. S. Ohira and M. Iwaki, Nucl. Instrum. Methods B 19/20, 162 (1987).
37. B. Rauschenbach, K. Breuer, and G. Leonhardt, Nucl. Instrum. Methods B 47, 396 (1990).
38. M. A. Rooke, J. A. Rotole, and P. M. A. Sherwood, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1299 (1995).
39. K. Ogata, Y. Andoh, and E. Kamijo, Nucl. Instrum. Methods B 39, 178 (1989).
40. H.-U. Baier and W. Mönch, J. Appl. Phys. 68, 586 (1990); J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1735 (1992); Appl. Surf. Sci. 56-58, 766 (1992).
41. H.-U. Baier and W. Mönch, J. Appl. Phys. 68, 586 (1990); J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1735 (1992); Appl. Surf. Sci. 56-58, 766 (1992).
42. H.-U. Baier and W. Mönch, J. Appl. Phys. 68, 586 (1990); J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1735 (1992); Appl. Surf. Sci. 56-58, 766 (1992).
43. K. T. Park, J. Cao, Y. Gao, G. W. Wicks, and M. W. Ruckman, J. Appl. Phys. 70, 2623 (1991); K. T. Park and Y. Gao, Phys. Rev. B 47, 4491 (1993).
44. K. T. Park, J. Cao, Y. Gao, G. W. Wicks, and M. W. Ruckman, J. Appl. Phys. 70, 2623 (1991); K. T. Park and Y. Gao, Phys. Rev. B 47, 4491 (1993).
45. Z. Sitar, L. L. Smith, and R. F. Davis, J. Cryst. Growth 141, 11 (1994).
46. V. E. Henrich, Appl. Surf. Sci. 6, 87 (1980).
47. T. L. Tansley and R. J. Egan, Phys. Rev. B 45, 10942 (1992).
48. D. Troost, H.-U. Baier, A. Berger, and W. Mönch. Surf. Sci. 242, 324 (1991); A. Berger, D. Troost, and W. Mönch, Vacuum 41, 669 (1990).
49. D. Troost, H.-U. Baier, A. Berger, and W. Mönch. Surf. Sci. 242, 324 (1991); A. Berger, D. Troost, and W. Mönch, Vacuum 41, 669 (1990).
50. R. W. Hunt, L. Vanzetti, T. Castro, K. M. Chen, L. Sorba, P. I. Cohen, W. Gladfelter, J. M. Van Hove, J. N. Kuznia, M. A. Khan, and A. Franciosi, Physica B 185, 415 (1993).
51. R. V. Kasowski and F. S. Ohuchi, Phys. Rev. B 35, 9311 (1987); F. S. Ohuchi, R. H. French, and R. V. Kasowski, J. Appl. Phys. 62, 2286 (1987).
52. R. V. Kasowski and F. S. Ohuchi, Phys. Rev. B 35, 9311 (1987); F. S. Ohuchi, R. H. French, and R. V. Kasowski, J. Appl. Phys. 62, 2286 (1987).
53. C. G. Olson, J. H. Sexton, D. W. Lynch, A. J. Bevolo, H. R. Shanks, B. N. Harmon, W. Y. Ching, and D. M. Wieliczka, Solid State Commun. 56, 35 (1985).
54. L. A. DeLouise, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 1637 (1992).
55. R. Carin, J. P. Deville, and J. Werckmann, Surf. Interface Anal. 16, 65 (1990).
56. J. Hedman and N. Mårtensson, Phys. Scr. 22, 176 (1980).
57. W. R. L. Lambrecht, B. Segall, S. Strite, G. Martin, A. Agarwal, H. Morkoç, and A. Rockett, Phys. Rev. B 50, 14155 (1994).
58. C. Y. Su, P. R. Skeath, T. Lindau, and W. E. Spicer, Surf. Sci. 118, 248 (1982).
59. J. E. Demuth, W. J. Thompson, N. J. DiNardo, and R. Imbihl, Phys. Rev. Lett. 56, 1408 (1986).
60. M. Alonso, R. Cimino, and K. Horn, Phys. Rev. Lett. 64, 1947 (1990).
61. D. Mao, A. Kahn, M. Marsi, and G. Margaritondo, Phys. Rev. B 42, 3228 (1990).
62. G. Margaritondo, L. J. Brillson, and N. G. Stoffel, Solid State Commun. 35, 277 (1980).
63. R. T. Poole, J. Liesegang, R. C. G. Leckey, and J. G. Jenkin, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 5, 773 (1974).
64. J. I. Pankove and H. Schade, Appl. Phys. Lett. 25, 53 (1974).
65. A. Many, Y. Goldstein, and N. B. Grover, Semiconductor Surfaces (North-Holland, Amsterdam, 1965), Chap. 2.
66. B. K. Meyer, D. Volm, A. Graber, H. C. Alt, T. Detchprohm, A. Amano, and I. Akasaki, Solid State Commun. 95, 597 (1995).
67. J. van der Weide, Z. Zhang, P. K. Baumann, M. G. Wensell, J. Bernholc, and R. J. Nemanich, Phys. Rev. B 50, 5803 (1994).
68. J. Pelletier, D. Gervais, and C. Pomot, J. Appl. Phys. 55, 994 (1984).
69. G. Martin, S. Strite, A. Botchkarev, A. Agarwal, A. Rockett, H. Morkoç, W. R. L. Lambrecht, and B. Segall, Appl. Phys. Lett. 65, 610 (1994).
70. J. Baur, K. Maier, M. Kunzer, U. Kaufmann, and J. Schneider, Appl. Phys. Lett. 65, 2211 (1994); J. Baur, M. Kunzer, K. Maier, U. Kaufmann, and J. Schneider, Mater. Sci. Eng. B 29, 61 (1995).
71. J. Baur, K. Maier, M. Kunzer, U. Kaufmann, and J. Schneider, Appl. Phys. Lett. 65, 2211 (1994); J. Baur, M. Kunzer, K. Maier, U. Kaufmann, and J. Schneider, Mater. Sci. Eng. B 29, 61 (1995).
72. J. S. Foresi and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 62, 2859 (1993).
73. E. S. Kopeliovich, V. N. Maslov, V. Yu. Pepelyaev, V. N. Rukova, V. G. Sidorov, M. D. Shagalov, and Yu. M. Shalabutov, Sov. Phys. Semicond. 9, 125 (1975).
74. H. B. Michaelson, J. Appl. Phys. 48, 4729 (1977).
75. W. Mönch, Rep. Prog. Phys. 53, 221 (1990).