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Volumn 24, Issue 1, 1996, Pages 18-

Study on excitation temperatures of a novel microwave plasma enhanced glow discharge source

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Excitation temperature; Glow discharge source; Microwave plasma

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EID: 9644279653     PISSN: 02533820     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.