Fabrication of microstructures using the liga process

Micromechanics and MEMS: Classic and Seminal Papers to 1990

Volumn , Issue , 1997, Pages 623-633

  Ehrfeld, W ^a   Bley, P ^a   Gotz F ^a   Hagmann, P ^a   Maner, A ^a   Mohr, J ^a   Moser, H O ^a   Munchmeyer D ^a   Schelb, W ^a   Schmidt, D ^a   Becker, E W ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

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EID: 85031583038     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Book    
DOI: 10.1109/9780470545263.sect12     Document Type: Chapter

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