Integration of ferroelectric thin films into nonvolatile memories

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 10, Issue 4, 1992, Pages 1554-1561

  Sinharoy, S ^a   Francombe, M H ^a   Buhay, H ^a   Lampe, D R ^a  

^a WESTINGHOUSE ELECTRIC COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84956207698     PISSN: 07342101     EISSN: 15208559     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.578044     Document Type: Conference Paper

References (46)

1. S. Y. Wu, IEEE Trans. Electron Devices ED 21, 499 (1974).
2. K. Sugibuchi, Y. Kurogi, and N. Endo, J. Appl. Phys. 46, 2877 (1975).
3. H. Buhay, S. Sinharoy, M. H. Francombe, W. H. Kasner, J. Talvacchio, B. K. Park, N. J. Doyle, D. R. Lampe, and M. Polinsky, Proceedings of the Third International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs, April 3–5, 1991 [Ferroelectrics (to be published)].
4. N. Abt, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 200, 303 (1990).
5. S. Sinharoy, H. Buhay, M. G. Burke, D. R. Lampe, and T. M. Pollak, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 38, 633 (1991).
6. D. R. Lampe, S. Sinharoy, E. Stepke, and H. Buhay, Proceedings of the Seventh International Symposium on Application Ferroelectrics, Urbana-Champaign, June 6–8, 1990 (unpublished), p. 177.
7. S. Sinharoy, H. Buhay, M. H. Francombe, W. J. Takei, N. J. Doyle, J. H. Rieger, D. R. Lampe, and E. Stepke, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 409 (1991).
8. S. Sinharoy, D. R. Lampe, H. Buhay, and M. H. Francombe, in Ref. 3.
9. H. Buhay, S. Sinharoy, W. H. Kasner, M. H. Francombe, D. R. Lampe, and E. Stepke, Appl. Phys. Lett. 58, 1470 (1991).
10. J. F. Scott and C. A. Paz De Araujo, Science 246, 1400 (1989).
11. J. F. Scott, L. D. McMillan, and C. A. Araujo, Ferroelectrics 116, 147 (1991).
12. R. C. Baumann, T. A. Rost, and T. A. Rabson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 200, 25 (1990).
13. A. Kingon, M. Ameen, O. Auciello, K. Gifford, H. Al-Shareef, T. Gracttinger, S-H. Rou, and P. Hren, Ferroelectrics 116, 35 (1991).
14. K. Iijima, T. Terashima, K. Yamamoto, K. Hirata, and Y. Bando, Appl. Phys. Lett. 56, 527 (1990).
15. M. de Keijser, G. J. M. Dormans, J. F. M. Cillessen, D. M. de Leeuw, and H. W. Zandbergen, Appl. Phys. Lett. 58, 2636 (1991).
16. L. E. Sanchez, D. T. Dion, S. Y. Wu, and I. K. Naik, Ferroelectrics 116, 1 (1991).
17. S. K. Dey, K. D. Budd, and D. A. Payne, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 35, 80 (1988).
18. J. Am. Ceram. Soc. 7, C 295 (1987).
19. G. Yi, Z. Wu, and M. Sayer, J. Appl. Phys. 64, 2717 (1988).
20. K. D. Budd, S. K. Dey, and D. A. Payne, Br. Ceram. Soc. Proc. 36, 107 (1985).
21. J. Fukushima, K. Kodaira, and I. Matsushita, J. Mater. Sci. 19, 595 (1984).
22. S. B. Krupanidhi, N. Maffei, M. Sayer, and K. El-Assal, J. Appl. Phys. 54,6601 (1983).
23. R. Takayama and Y. Tomita. J. Appl. Phys. 65, 1666 (1989).
24. R. W. Vest and W. Zhu, Ferroelectrics 119, 61 (1991).
25. G. A. C. M. Spierings, M. J. E. Ulenaers, G. L. M. Kampschoer, H. A. M. Van Hal, and P. K. Larsen, J. Appl. Phys. 70, 2290 (1991).
26. K. L. Saenger, R. A. Roy, K. F. Etzold, and J. J. Cuomo, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 200, 115 (1990).
27. K. S. Grabowski, J. S. Horwitz, and D. B. Chrisey, Ferroelectrics 116, 19 (1991).
28. H. Kidoh, T. Qgawa, A. Morimoto, and T. Shimizu. Appl. Phys. Lett. 58, 2910 (1991).
29. D. Roy, S. B. Krupanidhi, and J. P. Dougherty, J. Appl. Phys. 69, 7930 (1991).
30. B. P. Maderic, L. E. Sanchez, and S. Y. Wu, Ferroelectrics 116, 65 (1991).
31. J. F. Scott. L. Kammerdiner, M. Parris, S. Traynor, V. Ottenbacher, A. Shawabkeh, and W. F. Oliver, J. Appl. Phys. 64, 787 (1988).
32. P. K. Larsen, G. L. M. Kampschoer, M. J. E. Ulenaers, G. A. C. M. Spierings, and R. Cuppens, Appl. Phys. Lett. 59, 611 (1991).
33. J. M. Bogdon, S. Sinharoy, and A. J. Noreika, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2420 (1991).
34. W. J. Takei, N. P. Formigoni, and M. H. Francombe, J. Vac. Sci. Technol. 7, 442 (1970).
35. W. J. Takei, S. Y. Wu, and M. H. Francombe, J. Cryst. Growth 28, 188 (1975).
36. T. S. Kalkur, J. Kulkarni, Y. C. Lu, M. Rowe, W. Han, and L. Kammerdiner, Ferroelectrics 116, 135 (1991).
37. W. H. Shepherd, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 200, 277 (1990).
38. H. M. Duiker, P. D. Beale, J. F. Scott, C. A. Paz de Araujo, B. M. Melnick, J. D. Cuchiaro, and L. D. Mcmillan, J. Appl. Phys. 68, 5783 (1990).
39. H. M. Duiker and P. D. Beale, Phys. Rev. B 41, 490 (1990).
40. J. R. Schwank, R. D. Nasby, M. S. Rodgers, and S. L. Miller, in Ref. 3.
41. D. M. Smyth, Ferroelectrics 116, 117 (1991).
42. S. F. Scott, C. A. Araujo, B. M. Melnick, L. D. Mcmillan, and R. Zuleeg, J. Appl. Phys. 70, 382 (1991).
43. A. K. Kulkarni, G. A. Rohrer, L. D. McMillan, and S. E. Adams, in Ref. 3.
44. A. I. Kingon, P. D. Hren, S. H. Rou, H. N. Al-Shareef, M. S. Ameen, and O. H. Auciello, in Ref. 3.
45. B.M. Melnick, C. A. Paz de Araujo, L. D. McMillan, D. A. Carver, and J. F. Scott, Ferroelectrics 116, 79 (1991).
46. R. Moazzami, C. Hu, and W. Shepherd, Proceedings of the International Reliability Physics Symposium IEEE, New Orleans, 1990 (IEEE, New York, 1990), p. 231.